[实用新型]一种高纯气体纯化装置

权利要求书

1.一种高纯气体纯化装置，包括加热釜(1)、反应釜(2)、热交换器(3)、程控阀组A(4)、程控阀组B(8)，其特征在于：还包括原料气接口(13)、恒温水槽(11)、控制单元；

所述原料气接口(13)依次连接进气阀(16)、加热釜(1)、反应釜(2)、热交换器(3)、程控阀组A(4)，所述程控阀组A(4)和程控阀组B(8)之间连接有脱氧釜A(5)、脱氧釜B(6)、脱氧釜C(7)，所述热交换器(3)放置在恒温水槽(11)内；

所述程控阀组A(4)还连接有再生气接口(15)，所述程控阀组B(8)还分别连接有真空泵(12)和过滤器(9)，所述过滤器(9)出气口连接有换向阀(17)，所述过滤器(9)和换向阀(17)之间连接有纯度检测仪(10)，所述换向阀(17)与加热釜(1)连接，所述换向阀(17)还连接有出气口(14)；

所述进气阀(16)、加热釜(1)、恒温水槽(11)、程控阀组A(4)、程控阀组B(8)、脱氧釜A(5)、脱氧釜B(6)、脱氧釜C(7)、真空泵(12)、纯度检测仪(10)、换向阀(17)与控制单元电性连接。

2.根据权利要求1所述的高纯气体纯化装置，其特征在于：所述加热釜(1)表面设置有隔热层，所述热交换器(3)为管带式热交换器。

3.根据权利要求1或2所述的高纯气体纯化装置，其特征在于：所述过滤器(9)由微孔过滤膜片和分子筛颗粒相间填充。