[实用新型]一种标准气体配制装置有效
申请号: | 201820977016.1 | 申请日: | 2018-06-22 |
公开(公告)号: | CN208406658U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 犹永勤 | 申请(专利权)人: | 重庆神开气体技术有限公司 |
主分类号: | B01F3/02 | 分类号: | B01F3/02;B01F15/04 |
代理公司: | 成都坤伦厚朴专利代理事务所(普通合伙) 51247 | 代理人: | 刘坤 |
地址: | 400805 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电磁阀 混合罐 减压阀 质量流量控制器 依次连接 标准气体配制 进气口连接 原料气进口 稀释气 真空泵 本实用新型 电性连接 气体配制 出气口 缓冲罐 取样袋 进口 标注 配制 | ||
1.一种标准气体配制装置,其特征在于:包括原料气进口(1)、混合罐(4)、稀释气进口(5)、控制单元,所述原料气进口(1)依次连接减压阀A(9)、电磁阀A(11)、缓冲罐(2)、电磁阀B(12)、质量流量控制器A(3)、电磁阀C(14)后与混合罐(4)的进气口连接;
所述稀释气进口(5)依次连接减压阀B(16)、质量流量控制器B(6)、电磁阀D(15)后与混合罐(4)的进气口连接,所述混合罐(4)一侧依次连接有电磁阀E(17)、真空泵(7),所述混合罐(4)出气口依次连接有电磁阀F(19)、取样袋(8);
所述接减压阀A(9)、电磁阀A(11)、电磁阀B(12)、质量流量控制器A(3)、电磁阀C(14)、减压阀B(16)、质量流量控制器B(6)、电磁阀D(15)、电磁阀E(17)、真空泵(7)、电磁阀F(19)与控制单元电性连接。
2.根据权利要求1所述的标准气体配制装置,其特征在于:所述混合罐(4)设置有搅拌装置(18),所述混合罐进气口还设置有压力变送器(13),所述压力变送器(13)、搅拌装置(18)与控制单元电性连接。
3.根据权利要求1或2所述的标准气体配制装置,其特征在于:所述电磁阀F(19)与取样袋(8)之间,还依次设置有质量流量控制器C(21)、电磁阀G(20)。
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