[实用新型]一种清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，应用于化学气相沉积的研磨设备中；其特征在于，包括一固定基座、一连接进水管的立柱、一调节滑座、一调节支杆和一喷水部件，所述调节滑座上开设有一第一通孔，所述立柱贯穿所述第一通孔竖直设置在所述固定基座上，所述调节滑座可以在所述立柱上上下滑动；

所述调节滑座上还开设有一左右贯通的第二通孔，所述调节支杆贯穿所述第二通孔水平设置在所述调节滑座上；

所述调节支杆的顶端边沿还开设有一上下贯通的第三通孔，所述喷水部件贯穿所述第三通孔并通过一固定螺丝固定在所述调节支杆上；

所述立柱的底部位置还开设有一第一进水接口，于所述立柱的正中位置开设有一出水接口，水平设置的所述调节支杆的底部正中位置开设有一第二进水接口，所述调节支杆内部为中空结构，进水管依次通过所述第一进水接口、所述出水接口和所述第二进水接口，并从所述第三通孔引出以连接所述喷水部件。

2.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述第一进水接口上设有一电磁阀。

3.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述第一通孔的内侧覆盖有橡胶片。

4.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述喷水部件包括一连接接头和一花洒喷嘴，所述连接接头和所述花洒喷嘴通过固定螺丝固定连接。

5.如权利要求4所述的一种清洗装置，其特征在于，所述连接接头为一万向接头。

6.如权利要求4或5所述的一种清洗装置，其特征在于，所述花洒喷嘴为一三叉管接头。

7.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述固定基座上对称设置有两个螺纹孔，所述清洗装置通过所述螺纹孔定位安装在所述研磨设备上。

8.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述立柱的长度为90cm。