[实用新型]硅片上料归正装置

说明书

本实用新型涉及硅片转移技术领域，尤其是一种硅片上料归正装置，包括硅片归正装置、用于输送硅片的输送线及用于将硅片归正装置中的硅片一一转移至输送线上输入端的机械手，输送线的输出端设置有硅片在线纠偏装置；本实用新型采用硅片归正装置使硅片在进入到输送线之前首先进行一次归正，避免硅片在输送线上发生位置偏移和碎片的现象，然后由机械手将归正后的硅片一一转移至输送线上，当输送线上最前方硅片到达输送线的输出端准备进入检测设备时，由硅片在线纠偏装置对该硅片进行二次归正，以此确保硅片进入测试设备中的位置的准确性，从而提高硅片在测试设备中测试的准确性。

技术领域

本实用新型涉及硅片转移技术领域，尤其是一种硅片上料归正装置。

背景技术

硅片在烧结后，通常需要在测试设备上进行性能参数测试，硅片测试时，目前主要采用输送带将硅片一一输送至测试设备上进行硅片测试，但是在实际的硅片传输过程中经常出现硅片跑偏，导致硅片发生碎片的情况，且硅片跑偏后也会导致在测试时准确性较差的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决现有技术中硅片在上料时容易跑偏，导致硅片容易发生碎片且测试时准确性较差的问题，现提供一种硅片上料归正装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片上料归正装置，包括硅片归正装置、用于输送硅片的输送线及用于将硅片归正装置中的硅片一一转移至输送线上输入端的机械手，所述输送线的输出端设置有硅片在线纠偏装置；

所述硅片归正装置包括底座及设置在底座上的承载板，所述底座上位于承载板的四侧均固定有定位柱，当硅片放置在承载板上时，硅片的四个侧面分别与其所在侧的定位柱接触；

所述硅片在线纠偏装置包括两个纠偏气缸，两个所述纠偏气缸的缸体分别固定输送线的两侧，两个所述纠偏气缸的伸出端相互对置，所述纠偏气缸的伸出端上均固定有纠偏条。

本方案中硅片烧结后在检测设备上检测时，首先将硅片向上叠加放置在承载板上，由于硅片放置在承载板上时，硅片的四个侧面刚好与其所在侧的定位柱接触，因此，定位柱可对承载板上的硅片进行第一次归正；而后由机械手将承载板上的硅片一一转移至输送线上，当硅片到达输送线的输出端准备进入检测设备时，由两个纠偏气缸同时以固定行程的运动推动纠偏条，使两个纠偏条相互靠拢，从而将平台上位于两个纠偏条之间的硅片二次归正，以此确保硅片进入测试设备中其位置的准确性。

进一步地，所述输送线包括固定座及固定在固定座上的两个平台，所述硅片的两侧分别位于两个平台上，两个所述平台之间设置有托板，所述固定座上沿平台的长度方向滑动设置有滑座，所述滑座上固定有顶升气缸，所述顶升气缸的伸出端与托板固定连接，所述固定座上固定有水平进给气缸，所述水平进给气缸的伸出端与滑座固定连接；机械手将承载板上的硅片转移到平台上，平台上的硅片在向前传输时，首先由顶升气缸将托板向上顶起，以便托板将平台上所有的硅片一并抬起，使硅片与平台分离，然后由水平进给气缸推动滑座连同其上的托板一并向前进给，随之顶升气缸复位，托板上的硅片重新落在平台上，最终实现所有硅片在平台上向前进给一个工位，而后将水平进给气缸复位，以此循环。

进一步地，所述承载板的下表面固定有导向杆，所述底座的上表面固定有与导向杆相匹配的套筒，所述导向杆滑动设置在所述套筒内，所述套筒内放置有弹簧，所述弹簧的一端抵在导向杆的下表面，另一端抵在底座的上表面，利用弹簧的弹力，从而实现在机械手上的机械臂下移到承载板上吸附硅片时，提供一个缓冲，承载板沿导向杆的轴线方向下移，避免机械臂下移到承载板上最上方的硅片时将承载板上硅片压坏。

具体地，所述机械手上具有机械臂，所述机械臂上设有用于吸附硅片的吸盘。