[实用新型]硅片上料归正装置

权利要求书

1.一种硅片上料归正装置，其特征在于：包括硅片归正装置(1)、用于输送硅片(6)的输送线(2)及用于将硅片归正装置(1)中的硅片(6)一一转移至输送线(2)上输入端的机械手(3)，所述输送线(2)的输出端设置有硅片在线纠偏装置(4)；

所述硅片归正装置(1)包括底座(1-1)及设置在底座(1-1)上的承载板(1-2)，所述底座(1-1)上位于承载板(1-2)的四侧均固定有定位柱(1-3)，当硅片(6)放置在承载板(1-2)上时，硅片(6)的四个侧面分别与其所在侧的定位柱(1-3)接触；

所述硅片在线纠偏装置(4)包括两个纠偏气缸(4-1)，两个所述纠偏气缸(4-1)的缸体分别固定输送线(2)的两侧，两个所述纠偏气缸(4-1)的伸出端相互对置，所述纠偏气缸(4-1)的伸出端上均固定有纠偏条(4-2)。

2.根据权利要求1所述的硅片上料归正装置，其特征在于：所述输送线(2)包括固定座(2-1)及固定在固定座(2-1)上的两个平台(2-2)，所述硅片(6)的两侧分别位于两个平台(2-2)上，两个所述平台(2-2)之间设置有托板(2-3)，所述固定座(2-1)上沿平台(2-2)的长度方向滑动设置有滑座(2-4)，所述滑座(2-4)上固定有顶升气缸(2-5)，所述顶升气缸(2-5)的伸出端与托板(2-3)固定连接，所述固定座(2-1)上固定有水平进给气缸(2-6)，所述水平进给气缸(2-6)的伸出端与滑座(2-4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的硅片上料归正装置，其特征在于：所述承载板(1-2)的下表面固定有导向杆(1-4)，所述底座(1-1)的上表面固定有与导向杆(1-4)相匹配的套筒(1-5)，所述导向杆(1-4)滑动设置在所述套筒(1-5)内，所述套筒(1-5)内放置有弹簧(1-6)，所述弹簧(1-6)的一端抵在导向杆(1-4)的下表面，另一端抵在底座(1-1)的上表面。

4.根据权利要求1所述的硅片上料归正装置，其特征在于：所述机械手(3)上具有机械臂(3-1)，所述机械臂(3-1)上设有用于吸附硅片(6)的吸盘(3-2)。