[实用新型]一种单晶硅片倒角装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片倒角装置，属于硅片倒角设备技术领域，其目的在于解决现有技术中倒角设备在工作过程中难以很好清除磨削碎屑，磨削产生的热量难以很好散除问题，提供一种能够很好清除磨削碎屑，散热效果更好的单晶硅片倒角装置。本实用新型包括安装架，安装架上设置有第一电机，第一电机的第一输出轴连接有固定台，固定台的侧上方设置有砂轮，安装架还设有往复机构，往复机构可使砂轮与固定台之间的水平距离在一定范围内依次变化。本实用新型在工作工程中通过改变砂轮与硅片之间的间距从而增大硅片与砂轮的排屑以及散热空间，进而使整体达到很好的排屑以及散热效果。

技术领域

本实用新型属于硅片倒角设备技术领域，具体涉及一种单晶硅片倒角装置。

背景技术

随着计算机技术的不断发展，对于硅片的需求量也愈发增大。在硅片的生产加工过程中，对硅片进行倒角是其中一个非常重要的步骤。

申请号为CN201620669480.5的实用新型专利公开了一种新型高效硅片倒角机。当前，企业在对硅片进行倒角时采用的倒角机均不能一次同时加工两块硅片，当企业需要大批量生产时，这种倒角机效率明显偏低，难以满足企业自身生产需要，存在不足。本实用新型涉及一种新型高效硅片倒角机，其中：第三电机与第二蜗杆同轴连接，第二蜗杆与第二蜗轮啮合连接，第二蜗轮通过第二转轴与第二固定块固定连接，机体与第一电机固定连接，第一电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮通过传动轴与砂轮固定连接。本装置采用一次同时加工两块硅片的方式，比传统的效率提高一倍，能够满足企业自身生产需要，有利于提高企业经济效益。

该实用新型在倒角进行过程中，硅片与砂轮之间的持续磨削过程中会产生大量的热量，而硅片与砂轮持续长时间的接触导致热量难以消散造成硅片发烫，对硅片的稳定性会产生不良影响；另一方面，硅片与砂轮的磨削产生大量的碎屑，碎屑如果不能及时排除会导致磨削的效果差以及效率低下。而现有技术中通常采用关闭电机使整个设备休息然后进行排屑以及散热降温，这样大大降低了倒角设备的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：解决现有技术中倒角设备在工作过程中难以很好清除磨削碎屑，磨削产生的热量难以很好散除问题，提供一种能够很好清除磨削碎屑，散热效果更好的单晶硅片倒角装置。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种单晶硅片倒角装置，包括安装架，安装架上设置有第一电机，第一电机的第一输出轴连接有固定台，固定台可绕第一输出轴的轴线旋转，安装架上位于固定台的侧上方设置有砂轮，固定台或砂轮可沿安装架的长度方向移动，安装架还设有用于调整砂轮与固定台之间的水平距离的往复机构。

其中，往复机构包括设置在安装架顶端的第二电机，第二电机的第二输出轴上套设有第一齿轮，安装架顶端还设置有安装座，安装座通过弹性装置连接在安装架上，安装座可沿远离或者靠近第二输出轴的方向运动；安装座内套设有可在安装座内转动的转轴，转轴的另一端与砂轮连接，转轴上还套设有第二齿轮，第二齿轮的齿与第一齿轮的齿啮合，第二齿轮和 /或第一齿轮偏心设置。

其中，第二输出轴的端部还连接有风扇，安装架上还固定设置有变速箱，变速箱的输入轴与第二输出轴连接，变速箱的输出轴与与风扇的转动轴连接。安装架上还设置有固定框，第一电机安装在固定框内，第一电机的第一输出轴穿出固定框并与固定台连接。

其中，安装架上还设置有固定框，第一电机安装在固定框内，第一电机的第一输出轴穿出固定框并与固定台连接；安装架的顶端设置有第二电机，第二电机的第二输出轴砂轮相连；往复机构包括设置在安装架一侧的第三电机，第三电机的第三输出轴上套设有凸轮，凸轮与固定框接触设置，固定框还通过弹性装置连接在安装架上，固定框可沿远离或者靠近砂轮的方向运动。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：