[实用新型]一种单晶硅片倒角装置

权利要求书

1.一种单晶硅片倒角装置，包括安装架(1)，安装架(1)上设置有第一电机(3)，第一电机(3)的第一输出轴(4)连接有固定台(5)，固定台(5)可绕第一输出轴(4)的轴线旋转，安装架(1)上位于固定台(5)的侧上方设置有砂轮(13)，其特征在于：固定台(5)或砂轮(13)可沿安装架(1)的长度方向移动，安装架(1)还设有用于调整砂轮(13)与固定台(5)之间的水平距离的往复机构。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅片倒角装置，其特征在于：往复机构包括设置在安装架(1)顶端的第二电机(6)，第二电机(6)的第二输出轴(7)上套设有第一齿轮(8)，安装架(1)顶端还设置有安装座(10)，安装座(10)通过弹性装置(11)连接在安装架(1)上，安装座(10)可沿远离或者靠近第二输出轴(7)的方向运动；安装座(10)内套设有可在安装座(10)内转动的转轴(12)，转轴(12)的另一端与砂轮(13)连接，转轴(12)上还套设有第二齿轮(9)，第二齿轮(9)的齿与第一齿轮(8)的齿啮合，第二齿轮(9)和/或第一齿轮(8)偏心设置。

3.如权利要求2所述的一种单晶硅片倒角装置，其特征在于：第二输出轴(7)的端部还连接有风扇(14)。

4.如权利要求3所述的一种单晶硅片倒角装置，其特征在于：安装架(1)上还固定设置有变速箱，变速箱的输入轴与第二输出轴(7)连接，变速箱的输出轴与风扇(14)的转动轴连接；安装架(1)上还设置有固定框(2)，第一电机(3)安装在固定框(2)内，第一电机(3)的第一输出轴(4)穿出固定框(2)并与固定台(5)连接。

5.如权利要求1所述的一种单晶硅片倒角装置，其特征在于：安装架(1)上还设置有固定框(2)，第一电机(3)安装在固定框(2)内，第一电机(3)的第一输出轴(4)穿出固定框(2)并与固定台(5)连接；安装架(1)的顶端设置有第二电机(6)，第二电机(6)的第二输出轴(7)与砂轮(13)相连；往复机构包括设置在安装架(1)一侧的第三电机(15)，第三电机(15)的第三输出轴上套设有凸轮(16)，凸轮(16)与固定框(2)接触设置，固定框(2)还通过弹性装置(11)连接在安装架(1)上，固定框(2)可沿远离或者靠近砂轮(13)的方向运动。