[实用新型]柔性太阳能电池窗口层生产设备

说明书

本实用新型公开了一种柔性太阳能电池窗口层生产设备。该柔性太阳能电池窗口层生产设备使用铜罩进行隔离，将各个材料溅射室独立设置到铜罩内，这样可以让其使用不同材料溅射镀膜时，不会造成材料间相互的交叉污染，实现同时一次性使用多种不同材料溅射镀膜，同时通过隔板将放卷辊和收卷辊设置于上层内，铜罩A和冷却轴设置于中层内，多个铜罩B设置于下层内，三块分开，在更好的控制腔体层内温度溅射镀膜的同时，进一步防止材料交叉污染，同时防止柔性太阳能电池卷开卷时水汽带入的颗粒进入溅射镀膜区域。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种柔性太阳能电池窗口层生产设备。

背景技术

随着全球气候变暖、生态环境恶化和常规能源的短缺，太阳能已成为各国可持续发展的重要战略决策。太阳能电池就是一种将太阳能转化成电能的装置，具备超过电能、风能等资源的能源，而有希望成为未来电力行业的重要支柱。其中，柔性太阳能电池更是具有广阔的市场前景。

柔性太阳能电池主要有窗口层、缓冲层、吸收层、背电极和衬底组成。柔性太阳能电池窗口层生产时需要在柔性太阳能电池卷上进行材料溅射镀膜，现有柔性太阳能电池窗口层生产采用一体溅射，一体溅射的使用材料相同，选择性少，无法同时实现不同材料溅射镀膜。同时在柔性太阳能电池卷通过输送通道进入材料溅射镀膜的阶段不同需要的温度环境不同。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型设计了一种柔性太阳能电池窗口层生产设备。

本实用新型采用如下技术方案：

一种柔性太阳能电池窗口层生产设备，包括腔体，腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B，铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室，多个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统，腔体内通过隔板隔离成上层、中层和下层，三层间仅留输送通道的输送口，放卷辊和收卷辊设置于上层内，铜罩A和冷却轴设置于中层内，多个铜罩B设置于下层内。

作为优选，所述真空系统包括粗抽泵组、分子泵、前级泵和冷泵。

作为优选，所述冷却轴内连通循环冷却水管道，油温鼓内连通循环热油管道。

作为优选，所述腔体内设置有红外加热灯。

作为优选，所述输送通道上设置有张力辊和纠偏系统。

作为优选，所述腔体内安装设置有摄像头。

作为优选，所述放卷辊和收卷辊固定连接有同步电机。

作为优选，所述隔板为保温板。

作为优选，所述腔体连通有布气设备，布气设备通过管路与腔体连通，管路上连接有流量计。

作为优选，所述腔体内输送通道处设置有方块电阻监控和开压监控。

与现有技术相比，该柔性太阳能电池窗口层生产设备的有益效果是：

1、使用铜罩进行隔离，将各个材料溅射室独立设置到铜罩内，这样可以让其使用不同材料溅射镀膜时，不会造成材料间相互的交叉污染，实现同时一次性使用多种不同材料溅射镀膜；

2、同时通过隔板将放卷辊和收卷辊设置于上层内，铜罩A和冷却轴设置于中层内，多个铜罩B设置于下层内，三块分开，在更好的控制腔体层内温度溅射镀膜的同时，进一步防止材料交叉污染，同时防止柔性太阳能电池卷开卷时水汽带入的颗粒进入溅射镀膜区域；

3、采用多级抽真空，抽真空时将水蒸气吸附的颗粒进行抽出，保证腔体的洁净；