[实用新型]柔性太阳能电池窗口层生产设备有效

专利信息
申请号: 201820923908.3 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN208256635U 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 于金杰;罗明新;任宇航 申请(专利权)人: 浙江尚越新能源开发有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56
代理公司: 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 代理人: 张德宝
地址: 311100 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 柔性太阳能电池 溅射镀膜 铜罩 生产设备 窗口层 交叉污染 隔板 本实用新型 独立设置 防止材料 控制腔体 水汽 放卷辊 溅射室 冷却轴 收卷辊 开卷 下层 上层 中层 隔离
【权利要求书】:

1.一种柔性太阳能电池窗口层生产设备,包括腔体,其特征是,所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊,放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊,放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道,输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B,铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室,多个铜罩B围绕油温鼓分布,腔体上设置有真空系统,腔体内通过隔板隔离成上层、中层和下层,三层间仅留输送通道的输送口,放卷辊和收卷辊设置于上层内,铜罩A和冷却轴设置于中层内,多个铜罩B设置于下层内。

2.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述真空系统包括粗抽泵组、分子泵、前级泵和冷泵。

3.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述冷却轴内连通循环冷却水管道,油温鼓内连通循环热油管道。

4.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体上层内设置有红外加热灯。

5.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述输送通道上设置有张力辊和纠偏系统。

6.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体内安装设置有摄像头。

7.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述放卷辊和收卷辊固定连接有同步电机。

8.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述隔板为保温板。

9.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体连通有布气设备,布气设备通过管路与腔体连通,管路上连接有流量计。

10.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体内输送通道处设置有方块电阻监控和开压监控。

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