[实用新型]一种点激光平面度检测装置

说明书

本实用新型涉及一种点激光平面度检测装置，其用于检测样品的平面度，包括冶具、三维调整装置和检测装置，冶具包括检测平台，三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调整机构和Z轴定位调整机构，Z轴定位检测机构包括定位装置，通过X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置，Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后所述检测装置位移到待检测样品位置开始进行检测。通过X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整待检测样品的位置，定位装置开获取到定位位置，检测装置运动到定位位置点激光进行检测，实现检测的自动化和高效性，通过点激光检测样品的平面度进一步保证了检测结果的准确率和精准度。

技术领域

本实用新型涉及一种平面度检测装置，尤其涉及一种点激光平面度检测装置。

背景技术

平面度检测装置是一款根据光学自准直原理设计的仪器，它可以精确地测量机床或仪器导轨的直线度误差，也可以测量平板等的平面度误差，还可以测量垂直导轨的直线度误差，以及垂直导轨和水平导轨之间的垂直度误差，与多面体联用可以测量圆分度误差，可以测量导轨直线度和平面度和工作状态导轨直线度。

而现有的平面度检测装置大多数利用光学棱镜作为检测装置，其占用位置大，并且检测时需要利用外界光束进行测量，检测环境要求高，而且检测时要进行相应防护措施，非常不利于检测，因此有必要提供一种能够进行自动调整检测位置并且利用点激光进行检测的平度度检测装置。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供能够自动调整位置并且利用点激光进行检测的平面度检测装置。

一种点激光平面度检测装置，用于检测样品的平面度，其包括冶具、三维调整装置和检测装置，所述冶具包括检测平台，所述三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调整机构和Z轴定位调整机构，所述检测装置包括点激光，所述Z轴定位检测机构包括定位装置，通过所述X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置，所述Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后，所述检测装置位移到待检测样品位置利用所述点激光开始进行检测。

进一步地，所述检测平台包括真空吸装置，通过所述真空吸装置吸住待检测样品，所述检测平台用于放置待检测样品。

进一步地，所述冶具还包括X轴安装槽和Y轴安装平台，所述Y轴安装平台安装在X轴安装槽上，所述X轴位移调整机构安装在X轴安装槽内，所述Y轴位移调整机构安装在Y轴安装平台上。

进一步地，所述X轴位移调整机构包括X轴滑块和X轴位移装置，所述X轴位移装置包括X轴滚珠丝杆。

进一步地，所述X轴滑块安装在X轴位移装置上，所述X轴位移装置贯穿X轴滑块并安装在X轴安装槽内壁上，所述检测平台可移动地安装在X轴滑块上，当所述X轴滑块在X轴位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在X轴向上的位置时，所述Y轴位移调整机构保持不动。

进一步地，所述Y轴位移调整机构包括Y轴滑块和Y轴位移装置，所述Y轴位移装置包括Y轴滚珠丝杆，所述检测平台安装在Y轴滑块上。

进一步地，所述Y轴滑块安装在Y轴位移装置上，所述Y轴位移装置贯穿Y轴滑块并固定在安装平台上，所述Y轴滑块安装在检测平台上，当所述Y轴滑块在Y轴位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在Y轴向上的位置时,所述X轴位移调整机构保持不动。

进一步地，所述定位装置包括安装板和拍摄装置，所述拍摄装置可拆卸地安装在安装板上。

进一步地，包括连接板，所述拍摄装置包括CCD拍摄装置，所述拍摄装置通过连接板平行安装在Z轴平台上，所述检测装置可上下平行移动安装在Z轴平台上。

进一步地，所述检测装置可拆卸地地安装在安装板上，所述检测装置通过定位装置定位后运动到待检测样品位置通过点激光对待检测样品进行平面度检测。