[实用新型]一种点激光平面度检测装置有效
| 申请号： | 201820840392.6 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208171209U | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王莹 | 申请（专利权）人： | 深圳市松禾智能系统有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳市华腾知识产权代理有限公司 44370 | 代理人： | 彭年才 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调整机构 检测装置 待检测样品 检测 定位调整机构 三维调整装置 定位位置 定位装置 激光平面 平面度 冶具 定位检测机构 定位装置定位 本实用新型 激光检测 检测结果 检测样品 高效性 精准度 通过点 准确率 激光 自动化 保证 | ||
1.一种点激光平面度检测装置，用于检测样品的平面度，其特征在于，包括冶具、三维调整装置和检测装置，所述冶具包括检测平台，所述三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调整机构和Z轴定位调整机构，所述Z轴定位检测机构包括定位装置，所述检测装置包括点激光，通过所述X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置，所述Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后，所述检测装置位移到待检测样品位置利用所述点激光进行检测。
2.如权利要求1所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述检测平台包括真空吸装置，通过所述真空吸装置吸住待检测样品，所述检测平台用于放置待检测样品。
3.如权利要求1所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述冶具还包括X轴安装槽和Y轴安装平台，所述Y轴安装平台安装在X轴安装槽上，所述X轴位移调整机构安装在X轴安装槽内，所述Y轴位移调整机构安装在Y轴安装平台上。
4.如权利要求1所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述X轴位移调整机构包括X轴滑块和X轴位移装置，所述X轴位移装置包括X轴滚珠丝杆。
5.如权利要求4所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述X轴滑块安装在X轴位移装置上，所述X轴位移装置贯穿X轴滑块并安装在X轴安装槽内壁上，所述检测平台可移动地安装在X轴滑块上，当所述X轴滑块在X轴位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在X轴向上的位置时，所述Y轴位移调整机构保持不动。
6.如权利要求1所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述Y轴位移调整机构包括Y轴滑块和Y轴位移装置，所述Y轴位移装置包括Y轴滚珠丝杆，所述检测平台安装在Y轴滑块上。
7.如权利要求6所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述Y轴滑块安装在Y轴位移装置上，所述Y轴位移装置贯穿Y轴滑块并固定在安装平台上，所述Y轴滑块安装在检测平台上，当所述Y轴滑块在Y轴位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在Y轴向上的位置时，所述X轴位移调整机构保持不动。
8.如权利要求1所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述定位装置包括安装板和拍摄装置，所述拍摄装置可拆卸地安装在安装板上。
9.如权利要求8所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，包括连接板，所述拍摄装置包括CCD拍摄装置，所述拍摄装置通过连接板平行安装在Z轴平台上，所述拍摄装置可上下平行移动安装在Z轴平台上。
10.如权利要求1所述的点激光平面度检测装置，其特征在于，所述检测装置可移动地安装在安装板上，所述检测装置通过定位装置定位后运动到待检测样品位置通过检测装置对待检测样品进行平面度检测。
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