[实用新型]晶圆盒

权利要求书

1.一种晶圆盒，其特征在于：该晶圆盒包含：

盒体，具有彼此间隔相对的两个直立侧壁，连接于所述侧壁顶端的顶壁，连接于所述侧壁之间并与该顶壁相对的底壁，同时与所述侧壁、该顶壁、该底壁连接的后壁，及位于该盒体底端的底座，所述侧壁、该顶壁、该底壁共同界定相对于该后壁的开口；以及

门，可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，并与所述侧壁、该顶壁、该底壁、该后壁共同界定收容空间，该门包括外门板、内门板及密封结构，该内门板的外周轮廓小于该外门板的外周轮廓，该密封结构设置或形成于该外门板的周缘以在该门与该盒体组合而封闭该开口时将该门与该盒体接合处密封。

2.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该密封结构包括密封件，且该密封件具有由该外门板与该内门板共同夹持固定的固定部，及与该固定部连接且环绕于该内门板的外周缘和该外门板的外周缘之间的密封部，该密封部用以密封该门与该盒体之间的缝隙。

3.根据权利要求1或2所述晶圆盒，其特征在于：所述侧壁、该顶壁、该后壁、该底壁及该底座呈一体成型的结构。

4.根据权利要求1或2所述晶圆盒，其特征在于：该外门板具有多个第一锁扣结构，该内门板具有多个分别与所述第一锁扣结构相配合以互相锁扣的第二锁扣结构，借此使该外门板与该内门板互相结合固定。

5.根据权利要求2所述晶圆盒，其特征在于：该密封件的该固定部形成有多个固定孔，该内门板还具有多个分别穿设于所述固定孔的定位凸部。

6.根据权利要求2所述晶圆盒，其特征在于：该密封件的该固定部形成有多个固定孔，该外门板还具有多个分别穿设于所述固定孔的定位凸部。

7.根据权利要求1、2、5或6其中任一项所述晶圆盒，其特征在于：该盒体还包括一个或多个设置或形成于该顶壁外表面的提取部。

8.根据权利要求7所述晶圆盒，其特征在于：该提取部与该顶壁形成一体成型的结构。

9.根据权利要求7所述晶圆盒，其特征在于：该提取部可拆卸地连接于该顶壁。

10.根据权利要求7所述晶圆盒，其特征在于：所述侧壁各自于朝向该收容空间的一侧形成有支撑部。

11.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该内门板上一体成型地形成有固持部。