[实用新型]一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构

权利要求书

1.一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，其特征在于，所述顶片机构包括基座和穿设在所述基座上的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括竖直设置的螺杆和套设在所述螺杆上的滚珠螺母，所述螺杆由伺服电机驱动转动；在所述滚珠螺母上连接有一滑块，当所述螺杆转动时，所述滑块可随所述滚珠螺母竖直上升或下降；在所述滑块上安装有支撑座，在所述支撑座上安装有顶片组件，所述顶片组件包括并排设置的多个托齿，每个托齿包括基板和固定设置在所述基板上的第一顶齿和第二顶齿，所述第一顶齿和第二顶齿之间限定出一个第一凹陷，相邻两个托齿的第二顶齿和第一顶齿之间限定出一个第二凹陷；并排设置的多个托齿形成多个顶齿、凹陷间隔排列的结构；所述顶片组件的相邻两个顶齿之间的距离设置为4.76mm，相邻两个凹陷之间的距离设置为4.76mm，相邻的顶齿和凹陷之间的距离设置为2.38mm。

2.根据权利要求1所述的用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，其特征在于，所述顶片机构还包括固定设置在所述基座上的导轨，所述导轨设置在所述滚珠丝杠的两侧，所述滑块可沿所述导轨上下滑动。

3.根据权利要求1所述的用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，其特征在于，所述伺服电机安装在所述基座上，所述伺服电机包括电机带轮；在所述螺杆的底端连接有丝杠带轮；传动皮带套设在所述电机带轮和所述丝杠带轮上，所述伺服电机通过所述传动皮带带动所述丝杠带轮转动，从而带动所述螺杆转动。

4.根据权利要求1所述的用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，其特征在于，在所述基板上开设有通孔，所述顶片组件上的多个托齿通过穿入所述通孔的螺栓可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，其特征在于，在所述支撑座上对称安装有两组所述顶片组件。