[实用新型]一种用于元器件电离辐照测试的装置

说明书

本实用新型涉及一种用于元器件电离辐照测试的装置，包括射线源、准直单元、支架、载物台和屏蔽外壳；所述射线源和所述准直单元与所述支架通过能够相对于所述载物台进行X、Y和Z轴方向移动的移动构件连接在一起；所述载物台用于放置被进行电离辐照测试的元器件，工作时所述移动构件带动所述射线源和准直单元移动到设定位置，使得所述射线源通过所述准直单元发出的均匀射线光斑照射到所述元器件上，所述支架包括龙门支架；所述装置还包括设置在所述载物台上、围绕所述元器件放置位置的、仅在其顶部留有供所述均匀射线光斑通过的屏蔽盒。实施本实用新型的一种用于元器件电离辐照测试的装置，具有以下有益效果：其测量数据较为准确、安全性能较高。

技术领域

本实用新型涉及工业测试设备，更具体地说，涉及一种用于元器件电离辐照测试的装置。

背景技术

电离总剂量效应是辐射环境作用于电子元器件产生的累积辐射效应，可造成元器件的永久损伤，不同于单粒子效应，无法通过断电、系统复位、备份等措施消除，因此电离总剂量效应一直是电子元器件抗辐射能力的一个标志。对于元器件(包括晶圆)而言，由于该指标并不需要随生产进行测试，也就是并不需要每个批次的产品均进行检测，因此在多数情况下，都是在产品设计定型时由设计或验收单位通过搭建的实验环境或设备进行测试。这种方法或设备虽然也在一定程度上能够得到测试数据，但是由于每次进行测试的单位、人员或设备可能不同，得到数据的一致性和重复性较差，无法实现数据的追溯，同时，这样的测试手段也使得对于射线剂量的控制较为困难；而且由于没有专用的设备，其安全性较差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述测量结果并不准确、安全性较差的缺陷，提供一种测量结果准确、安全线较高的一种用于元器件电离辐照测试的装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种用于元器件电离辐照测试的装置，包括射线源、准直单元、支架、载物台和屏蔽外壳；所述射线源、准直单元、支架和载物台均设置在所述屏蔽外壳内，所述射线源和准直单元装配在一起，并安装在支架上，所述射线源和所述准直单元与所述支架通过能够相对于所述载物台进行X、Y和Z轴方向移动的移动构件连接在一起；所述载物台用于放置被进行电离辐照测试的元器件，工作时所述移动构件带动所述射线源和准直单元移动到设定位置，使得所述射线源通过所述准直单元发出的均匀射线光斑照射到所述元器件上，所述支架包括龙门支架；所述装置还包括设置在所述载物台上、围绕所述元器件放置位置的、仅在其顶部留有供所述均匀射线光斑通过的屏蔽盒。

更进一步地，所述屏蔽盒包括由设定厚度的铅构成的底板、侧边和上边沿；所述底板为具有设定厚度的圆环状，其中部空出位置用于容置放置在所述载物台上的元器件；所述侧边为其侧壁具有设定厚度的中空的圆柱状，其放置在所述底板上，所述上边沿同样为具有设定厚度的圆环状，其放置在所述侧壁的顶部；所述底板、侧边和上边沿通过多个设置在不同位置的紧固螺钉连接为一体。

更进一步地，还包括设置在所述载物台上的、位于所述屏蔽盒内设定位置的用于测试所述射线源发送到所述屏蔽盒内，射线剂量并通过线缆将得到的数值传输到所述屏蔽外壳之外的计量测试单元。

更进一步地，所述计量测试单元包括安装在靠近所述载物台放置所述元器件位置的空气电离室。

更进一步地，还包括安装在所述龙门支架上、具有单独的移动结构、利用光学方式确认所述计量测试单元位置的电子显微镜。

更进一步地，所述屏蔽外壳包括屏蔽柜门，所述屏蔽柜门打开时露出所述在载物台和安装在所述载物台上的龙门支架；所述装置还包括设置在所述准直单元上的光闸；所述光闸在所述屏蔽柜门打开时封闭由所述射线源到所述准直单元的射线通道，使得所述射线不能外泄。

更进一步地，还包括设置在所述准直单元和被测试元器件之间的射线通道上、用于吸收该通道上的射线以调节输出射线剂量强度的吸收单元。

更进一步地，所述吸收单元包括至少一个具有设定射线衰减值的铝板。