[实用新型]一种用于元器件电离辐照测试的装置

权利要求书

1.一种用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，包括射线源、准直单元、支架、载物台和屏蔽外壳；所述射线源、准直单元、支架和载物台均设置在所述屏蔽外壳内，所述射线源和准直单元装配在一起，并安装在支架上，所述射线源和所述准直单元与所述支架通过能够相对于所述载物台进行X、Y和Z轴方向移动的移动构件连接在一起；所述载物台用于放置被进行电离辐照测试的元器件，工作时所述移动构件带动所述射线源和准直单元移动到设定位置，使得所述射线源通过所述准直单元发出的均匀射线光斑照射到所述元器件上，所述支架包括龙门支架；所述装置还包括设置在所述载物台上、围绕所述元器件放置位置的、仅在其顶部留有供所述均匀射线光斑通过的屏蔽盒。

2.根据权利要求1所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，所述屏蔽盒包括由设定厚度的铅构成的底板、侧边和上边沿；所述底板为具有设定厚度的圆环状，其中部空出位置用于容置放置在所述载物台上的元器件；所述侧边为其侧壁具有设定厚度的中空的圆柱状，其放置在所述底板上，所述上边沿同样为具有设定厚度的圆环状，其放置在所述侧壁的顶部；所述底板、侧边和上边沿通过多个设置在不同位置的紧固螺钉连接为一体。

3.根据权利要求2所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，还包括设置在所述载物台上的、位于所述屏蔽盒内设定位置的用于测试所述射线源发送到所述屏蔽盒内，射线剂量并通过线缆将得到的数值传输到所述屏蔽外壳之外的计量测试单元。

4.根据权利要求3所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，所述计量测试单元包括安装在靠近所述载物台放置所述元器件位置的空气电离室。

5.根据权利要求4所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，还包括安装在所述龙门支架上、具有单独的移动结构、利用光学方式确认所述计量测试单元位置的电子显微镜。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，所述屏蔽外壳包括屏蔽柜门，所述屏蔽柜门打开时露出所述载物台和安装在所述载物台上的龙门支架；所述装置还包括设置在所述准直单元上的光闸；所述光闸在所述屏蔽柜门打开时封闭由所述射线源到所述准直单元的射线通道，使得所述射线不能外泄。

7.根据权利要求6所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，还包括设置在所述准直单元和被测试元器件之间的射线通道上、用于吸收该通道上的射线以调节输出射线剂量强度的吸收单元。

8.根据权利要求7所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，所述吸收单元包括至少一个具有设定射线衰减值的铝板。

9.根据权利要求8所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，所述屏蔽外壳上设置有多个供信号或电源线缆进出的开孔，所述开孔处采用插板和多层高纯度钽箔缠绕设定长度的方式进行屏蔽。

10.根据权利要求9所述的用于元器件电离辐照测试的装置，其特征在于，所述元器件包括晶圆。