[实用新型]一种C-mount封装半导体激光器集成光纤耦合冷却装置有效

专利信息
申请号: 201820819971.2 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN208272354U 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 戚焕筠;赵圣之;冯传胜;李宇飞 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01S5/024 分类号: H01S5/024
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 陈桂玲
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 半导体激光器 定位板 管座 封装 集成光纤 冷却装置 耦合 单管 封装半导体器件 激光输出功率 定位板固定 散热板固定 串联供电 合成光束 集成器件 集中冷却 绝缘固定 热敏元件 伺服电源 外壳隔离 制冷效率 激光器 散热板 分隔 壳体 切缝 冷却 分割 制作
【说明书】:

一种C‑mount封装半导体激光器集成光纤耦合冷却装置,包括外壳、管座和定位板,管座和定位板设置在外壳内,管座通过切缝分隔成独立的单管座,每个单管座上安装一个C‑mount封装半导体激光器,管座固定在定位板上,定位板上设置有热敏元件,定位板固定在散热板上,散热板固定在壳体上,所述定位板与外壳隔离。该装置将各半导体激光器独立绝缘固定集中冷却,分割各个C‑mount封装半导体器件,实现了激光器串联供电,使伺服电源制作更加方便,合成光束的激光输出功率会更高;可单独、方便地更换其中任意一个半导体激光器;有效缩小了集成器件的冷却体积,提高了制冷效率。

技术领域

本实用新型涉及一种用于C-mount封装半导体激光器集成光纤耦合时的冷却装置,属于半导体激光器多光束耦合技术领域

背景技术

为了得到更大功率激光输出,需要将多个分离的半导体激光器器件集成,使其光束合成。半导体激光器在运行中会产生大量的热量,这些热量会使激光输出功率大大降低,输出光束质量变差,因此,需要通过制冷将热量去除。

图1是7只C-mount封装半导体器件集成示意图,半导体激光器1通过管座固定在定位板2上,在光束输出口5处加光纤耦合器用光纤输出激光。半导体激光器1在工作时真正需要冷却的只有定位板2,而定位板2的面积占不到整个耦合器件的一半。C-mount封装半导体器的安装孔的方向与激光出光方向相同,由于外壳6和平面45°反射镜4的Z方向的高度要高于半导体激光器1的高度,且反射镜是粘在与外壳底座上的,因此,一旦半导体激光器1和反射镜4固定好,再想拿下半导体激光器就不容易了。如果半导体激光器输出功率下降会将整个光束集成器件废掉。

在光束的合成过程中需要添加许多光学器件,还会保留必要的光程空间,所有这些都会占据空间,它们不产生热量也不需要冷却,如果将它们与半导体激光器集成在一起冷却会增加散热面积,特别是在要求半导体激光器工作在室温以下时此问题更加突出。

中国专利文献CN103178439A公开了一种《轻便型大功率半导体激光器集成装置》,包括有箱体和箱盖。其中箱体内部设计一层隔板,隔板上表面中间配有冷却换能器安装位置,配有卡槽用于固定冷却换能器,紧贴冷却换能器的上表面配有半导体激光堆栈安装位置,冷却换能器和半导体激光堆栈紧固,冷却换能器位置隔板下面配有冷却流体管道引入口,并在箱体后侧紧靠隔板下方配有冷却流体管道引出口,箱体后侧紧靠隔板上方配有电极安装位置,箱体内部前半部分隔板上配有整形镜片安装位置和光阑固定位置,并配有卡槽固定整形镜片和光阑,箱体前侧隔板上方有出光口。上述装置用于半导体激光器堆栈的,又称巴条,在其上面装有多个半导体激光发光体,供电只能是并联,一旦有发光体出现问题影响了整体输出功率,只能将半导体激光器堆栈整体换掉,并且是用冷却液将热量带走(也只能是用冷却液)。

实用新型内容

本实用新型针对现有C-mount封装半导体激光器集成光纤耦合冷却技术存在的不足,提供一种有效缩小集成器件的冷却体积,提高制冷效率的C-mount封装半导体激光器集成光纤耦合冷却装置。

本实用新型的C-mount封装半导体激光器集成光纤耦合冷却装置,采用以下技术方案:

该装置,包括外壳、管座和定位板,管座和定位板设置在外壳内,管座通过切缝分隔成独立的单管座,每个单管座上安装一个C-mount封装半导体激光器,管座固定在定位板上,定位板固定在散热板上,散热板固定在外壳上。

所述管座上的切缝大于0.2mm,以保证每一个半导体激光器固定后绝缘独立。

所述管座与定位板之间设置绝缘导热薄层。

所述定位板与外壳隔离(不接触)。

所述定位板上设置有热敏元件,以测温。

所述散热板与外壳之间设置隔热板。

所述散热板上设置有致冷元件。

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