[实用新型]半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构

说明书

本实用新型提供半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，包括一旋转锁紧机构，旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；固定环安装在上炉筒的下端面上；还包括一旋转环安装机构，旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，定位环安装在隔离阀的上端，定位外环安装在定位环的上端，旋转环的外边缘设置在定位环与定位外环之间；定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与旋转环外表面相抵。通过固定环与旋转环的相对转动进而实现锁紧与松开的调整，便于操作。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及半导体单晶炉上炉筒与隔离阀的自动脱开机构。

背景技术

现有的单晶炉没有上炉筒自动脱开机构，上炉筒与隔离阀通过导向销导向，及螺栓固定，上炉筒打开时需要人先手动松开螺栓，关闭时需手动再次把螺栓拧紧，且在设备上有一定的高度操作困难，有一定安全隐患。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，以解决上述至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于，包括一旋转锁紧机构，所述旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，所述旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；

所述固定环安装在所述上炉筒的下端面上；

还包括一旋转环安装机构，所述旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，所述定位环安装在隔离阀的上端，所述定位外环安装在所述定位环的上端，所述旋转环的外边缘设置在所述定位环与所述定位外环之间；

当旋转锁紧机构处于锁紧状态下，所述外齿位于内齿正下方，当旋转锁紧机构处于松开状态下，所述外齿位于相邻内齿间隙的正下方；

所述定位环、定位外环以及旋转环的中心轴线处于同一直线；

所述定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以所述定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与所述旋转环外表面相抵；

还包括一驱动旋转环以旋转环的中心轴线为旋转中心线进行转动的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述旋转环传动连接。

本专利的创新点在于：(1)通过固定环与旋转环的相对转动进而实现锁紧与松开的调整，便于操作。

(2)通过定位环以及定位滚轮的设计，便于对旋转环的位置的固定，便于保证旋转环在旋转过程中处于同一位置。

所述旋转驱动机构是两个气缸伸缩机构；两个气缸伸缩机构呈中心对称分布；

所述固定环以及所述旋转环上均安装有一气缸固定座，以安装在固定环上的气缸固定座为第一气缸固定座，以安装在旋转环上的气缸固定座为第二气缸固定座；

一个气缸伸缩机构的一端与第一气缸固定座转动连接，另一端与第二气缸固定座相连。

便于它能够给两个气缸伸缩机构的伸缩进而驱动旋转环的转动。

所述定位环以及所述定位外环通过螺钉固定在所述隔离阀上。便于部件的更换，拆装。

所述气缸伸缩机构上安装有一感应气缸伸缩进程的感应开关。便于控制量程。

所述旋转环上的内齿与所述固定环上的外齿的个数相等；

所述内齿的个数不小于8个；

所述固定环包括一基环，所述外齿设置在基环下方的径向外围；