[实用新型]半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构有效
| 申请号： | 201820813364.5 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208562595U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赖章田;贺贤汉;夏孝平;黄保强 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾雯 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转环 旋转锁紧机构 定位滚轮 定位环 固定环 上炉筒 半导体单晶 安装机构 自动脱开 上端 内齿 松开 锁紧 外齿 相抵 本实用新型 环状排布 中心轴线 隔离阀 外边缘 外圆周 下端 错位 支撑 | ||
1.半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于，包括一旋转锁紧机构，所述旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，所述旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；
所述固定环安装在所述上炉筒的下端面上；
还包括一旋转环安装机构，所述旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，所述定位环安装在隔离阀的上端，所述定位外环安装在所述定位环的上端，所述旋转环的外边缘设置在所述定位环与所述定位外环之间；
当旋转锁紧机构处于锁紧状态下，所述外齿位于内齿正下方，当旋转锁紧机构处于松开状态下，所述外齿位于相邻内齿间隙的正下方；
所述定位环、定位外环以及旋转环的中心轴线处于同一直线；
所述定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以所述定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与所述旋转环外表面相抵；
还包括一驱动旋转环以旋转环的中心轴线为旋转中心线进行转动的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述旋转环传动连接。
2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述旋转驱动机构是两个气缸伸缩机构；两个气缸伸缩机构呈中心对称分布；
所述固定环以及所述旋转环上均安装有一气缸固定座，以安装在固定环上的气缸固定座为第一气缸固定座，以安装在旋转环上的气缸固定座为第二气缸固定座；
一个气缸伸缩机构的一端与第一气缸固定座转动连接，另一端与第二气缸固定座相连。
3.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述定位环以及所述定位外环通过螺钉固定在所述隔离阀上。
4.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述旋转环上的内齿与所述固定环上的外齿的个数相等；
所述内齿的个数不小于8个；
所述固定环包括一基环，所述外齿设置在基环下方的径向外围；
当所述旋转环与固定环处于锁紧状态下，所述外齿位于所述内齿的下方；
当所述旋转环与固定环处于松开状态下，所述外齿位于相邻两个内齿的间隙的下方。
5.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述定位滚轮包括一轮体，所述轮体的外壁包覆有一玄武岩纤维制成的网状耐磨层。
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