[实用新型]一种超厚无氢类金刚石薄膜有效
| 申请号： | 201820808503.5 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208218947U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张林;张朝奎;王明磊 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 类金刚石薄膜 无氢类金刚石 多层复合膜 粘结层 超厚 真空离子镀技术 本实用新型 工程化应用 多层结构 基体偏压 交替沉积 金属基体 离子轰击 摩擦系数 耐磨性能 诱导效应 多层膜 高偏压 交替的 结合力 同质 涂覆 制备 匹配 | ||
【权利要求书】：
1.一种超厚无氢类金刚石薄膜，其特征在于：金属基体（1）上部涂覆Cr粘结层（2），Cr粘结层（2）上部为C/C多层复合膜（3），C/C多层复合膜（3）是由软C膜和硬C膜交替沉积构成。
2.根据权利要求1所述的一种超厚无氢类金刚石薄膜，其特征在于：所述金属基体（1）为铸铁或合金钢。
3.根据权利要求1所述的一种超厚无氢类金刚石薄膜，其特征在于：所述Cr粘结层（2）的厚度为0.2～0.5μm。
4.根据权利要求1所述的一种超厚无氢类金刚石薄膜，其特征在于：所述C/C多层复合膜（3）为至少交替沉积30次的软C膜和硬C膜，单层软C膜厚度为80~110 nm，单层硬C膜厚度为170~200nm。
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