[实用新型]单面制绒花篮及单面制绒装置有效
申请号: | 201820805246.X | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN208271855U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 苏晓东;方亮 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人: | 袁丽花 |
地址: | 215104 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单面制绒 气道 连接板 支撑杆 花篮 本实用新型 硅片 控制方便 控制气道 平行设置 装置结构 产能 负压 贴附 气压 生产成本 延伸 | ||
本实用新型公开了一种单面制绒花篮及单面制绒装置,所述单面制绒花篮包括平行设置的支撑杆、以及固定安装于支撑杆之间的若干连接板,所述支撑杆内设有第一气道,连接板内设有第二气道,所述第一气道和第二气道相连通设置,且第二气道延伸至连接板的表面。本实用新型中的单面制绒花篮及单面制绒装置结构简单、控制方便,通过控制气道内的负压气压即可实现硅片与连接板的贴附,从而实现硅片的单面制绒,大幅提高了产能,降低了生产成本。
技术领域
本实用新型涉及硅片制绒技术领域,特别是涉及一种单面制绒花篮及单面制绒装置。
背景技术
光伏发电是新能源的重要组成,近年来获得了飞速发展。目前商业化的太阳电池产品中,晶体硅(单晶和多晶)太阳电池的市场份额最大,一直保持接近九成的市场占有率。目前,在晶体硅太阳电池的生产工艺中,绒面工艺的目的是降低太阳电池的表面反射率,从而提高太阳电池的光电转换效率。
硅片花篮在太阳能电池制造领域中是用于收容硅片,以对硅片进行制绒、刻蚀、清洗、转换、印刷等工艺。参图1所示,现有技术中的硅片花篮包括上下设置的第一支撑板11′和第二支撑板12′,第一支撑板11′和第二支撑板12′通过四根立柱20′进行固定,立柱20′上设置有两两相对的卡齿31′,相邻的卡齿31′之间形成有若干卡槽32′,将硅片插入同一水平位置的四个卡槽后即可实现硅片40′的插入安装,硅片插入完成后将硅片花篮放入溶液中进行制绒、刻蚀、清洗、转换、印刷等工艺。
然而,现有技术中的硅片花篮仅能对硅片进行双面制绒,当需要对硅片进行单面制绒时则无法使用。
因此,针对上述技术问题,有必要提供一种单面制绒花篮及单面制绒装置。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种单面制绒花篮及单面制绒装置。
为了实现上述目的,本实用新型一实施例提供的技术方案如下:
一种单面制绒花篮,所述单面制绒花篮包括平行设置的支撑杆、以及固定安装于支撑杆之间的若干连接板,所述支撑杆内设有第一气道,连接板内设有第二气道,所述第一气道和第二气道相连通设置,且第二气道延伸至连接板的表面。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一气道包括沿支撑杆轴向延伸的第一主气道、及与第一主气道相连通的第一支气道,所述第一主气道延伸至支撑杆的端部,所述第一支气道与第二气道相连通。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一主气道和第一支气道垂直分布。
作为本实用新型的进一步改进,所述第二气道包括沿垂直于支撑杆方向的第二主气道、及与第二主气道相连通的第二支气道,所述第二主气道与第一气道相连通,所述第二支气道延伸至连接板的表面。
作为本实用新型的进一步改进,所述第二支气道沿第二主气道对称分布,第二气道分别延伸至连接板两侧的表面。
作为本实用新型的进一步改进,所述第二主气道和第二支气道垂直分布。
作为本实用新型的进一步改进,所述支撑杆的端部设有与第一主气道相连通的气管。
作为本实用新型的进一步改进,所述支撑杆的端部设有用于密封第一主气道的密封塞。
本实用新型另一实施例提供的技术方案如下:
一种单面制绒装置,所述单面制绒装置包括:上述的单面制绒花篮、以及可连通至第一气道和第二气道的气压控制机构,所述气压控制机构控制所述第一气道和第二气道内的气压为正压或负压,在抛光时吹气以控制第一气道和第二气道内的气压为正压,使分离连接板和硅片,在制绒时吸气以控制第一气道和第二气道内的气压为负压,以将硅片吸附于连接板的表面。
本实用新型的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造