[实用新型]单面制绒花篮及单面制绒装置

权利要求书

1.一种单面制绒花篮，其特征在于，所述单面制绒花篮包括平行设置的支撑杆、以及固定安装于支撑杆之间的若干连接板，所述支撑杆内设有第一气道，连接板内设有第二气道，所述第一气道和第二气道相连通设置，且第二气道延伸至连接板的表面。

2.根据权利要求1所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述第一气道包括沿支撑杆轴向延伸的第一主气道、及与第一主气道相连通的第一支气道，所述第一主气道延伸至支撑杆的端部，所述第一支气道与第二气道相连通。

3.根据权利要求2所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述第一主气道和第一支气道垂直分布。

4.根据权利要求1所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述第二气道包括沿垂直于支撑杆方向的第二主气道、及与第二主气道相连通的第二支气道，所述第二主气道与第一气道相连通，所述第二支气道延伸至连接板的表面。

5.根据权利要求4所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述第二支气道沿第二主气道对称分布，第二气道分别延伸至连接板两侧的表面。

6.根据权利要求4所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述第二主气道和第二支气道垂直分布。

7.根据权利要求2所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述支撑杆的端部设有与第一主气道相连通的气管。

8.根据权利要求2所述的单面制绒花篮，其特征在于，所述支撑杆的端部设有用于密封第一主气道的密封塞。

9.一种单面制绒装置，其特征在于，所述单面制绒装置包括：权利要求1～8中任一项所述的单面制绒花篮、以及可连通至第一气道和第二气道的气压控制机构，所述气压控制机构控制所述第一气道和第二气道内的气压为正压或负压，在抛光时吹气以控制第一气道和第二气道内的气压为正压，使分离连接板和硅片，在制绒时吸气以控制第一气道和第二气道内的气压为负压，以将硅片吸附于连接板的表面。