[实用新型]一种坩埚和蒸镀用蒸发源

说明书

本实用新型提供一种坩埚和蒸镀用蒸发源，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的坩埚的不同区域的放热量不同导致喷嘴的蒸镀效率不一致，影响整体膜层的均一性的问题。本实用新型的坩埚中在金属的壁面内侧设置了无机非金属材质的热传导层，该坩埚用于蒸镀时，在其内加入预蒸镀的原料，坩埚外部的加热元件将金属的壁面加热，金属的壁面将热量传递给热传导层，热传导层作为有机材料的热源，由于热传导层为无机非金属材质，相较于现有的局部排布电热丝对有机材料进行加热的方式，热传导层的热稳定性和热均一性更好。

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种坩埚和蒸镀用蒸发源。

背景技术

在OLED真空蒸镀工艺中，进行膜层蒸镀时，一般是将有机材料放置槽型的坩埚中，坩埚的锅体的两侧壁外设有电阻丝，坩埚顶部设有喷嘴，通过电阻丝对坩埚内的有机材料进行加热，有机材料进行物理状态受热发生变化后由喷嘴喷出，蒸镀到基板上，形成有机膜层。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：目前使用的坩埚的材料为金属钛，受电热丝(即加热电阻丝)排布的影响，以及坩埚的金属性质的影响，不同区域的坩埚的放热量不同，这就导致坩埚内部的不同区域的材料受热也不相同，不同喷嘴的蒸镀效率不一致，最终致使蒸镀在基板上的膜厚也不一致，使得整体膜层均一性差。

实用新型内容

本实用新型针对现有的不同区域的坩埚的放热量不同导致喷嘴的蒸镀效率不一致，影响整体膜层的均一性的问题，提供一种坩埚和蒸镀用蒸发源。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：

一种坩埚，包括锅体，所述锅体的至少部分壁面内设有热传导层，所述壁面由金属材料构成，所述热传导层由无机非金属材料构成。

可选的是，所述热传导层由石英陶瓷构成。

可选的是，所述壁面由金属钛构成。

可选的是，所述锅体还包括设于所述热传导层内的内壁，所述内壁由金属材料构成。

可选的是，所述内壁的厚度与所述壁面的厚度的比值范围为1％-20％。

可选的是，所述内壁由金属钛构成。

可选的是，所述热传导层与内壁之间设有间隙。

可选的是，所述加热元件包括电热丝。

可选的是，所述锅体为槽底、槽壁围成的槽状锅体，所述槽状锅体的开口位置处设置槽顶，所述槽顶上连接有喷嘴。

本实用新型还提供一种蒸镀用蒸发源，包括上述的坩埚。

可选的是，所述蒸镀用蒸发源还包括加热元件，所述加热元件设于所述坩埚的壁面的外部，用于加热所述坩埚。

附图说明

图1为本实用新型的实施例1的坩埚的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例2的坩埚的一种结构示意图；

图3为本实用新型的实施例2的坩埚的另一种结构示意图；

图4为本实用新型的实施例2的坩埚沿A-A’的截面图；

其中，附图标记为：1、壁面；2、热传导层；3、内壁；4、槽底；5、槽壁；6、槽顶；7、喷嘴。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1：

本实施例提供一种坩埚，如图1所示，包括锅体，所述锅体的至少部分壁面1内设有热传导层2，所述壁面1由金属材料构成，所述热传导层2由无机非金属材料构成。