[实用新型]一种坩埚和蒸镀用蒸发源有效
| 申请号： | 201820791262.8 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN208183062U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李发顺;贾晓晨;雷东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 热传导层 蒸镀 壁面 本实用新型 无机非金属 有机材料 均一性 蒸发源 金属 加热 加热元件 热量传递 热稳定性 喷嘴 不一致 电热丝 放热量 整体膜 热源 排布 预蒸 外部 | ||
【权利要求书】：
1.一种坩埚，包括锅体，其特征在于，所述锅体的至少部分壁面内设有热传导层，所述壁面由金属材料构成，所述热传导层由无机非金属材料构成。
2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述热传导层由石英陶瓷构成。
3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述壁面由金属钛构成。
4.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锅体还包括设于所述热传导层内的内壁，所述内壁由金属材料构成。
5.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述内壁的厚度与所述壁面的厚度的比值范围为1％-20％。
6.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述内壁由金属钛构成。
7.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述热传导层与内壁之间设有间隙。
8.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锅体为槽底、槽壁围成的槽状锅体，所述槽状锅体的开口位置处设置槽顶，所述槽顶上连接有喷嘴。
9.一种蒸镀用蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的坩埚。
10.根据权利要求9所述的蒸镀用蒸发源，其特征在于，所述蒸镀用蒸发源还包括加热元件，所述加热元件设于所述坩埚的壁面的外部，用于加热所述坩埚。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820791262.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高强度大角度防水膜镀制装置
- 下一篇：一种真空镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
