[实用新型]一种光学芯片组以及光学芯片组研磨尺寸检查装置

说明书

本实用新型公开一种光学芯片组研磨尺寸检查装置。所述光学芯片研磨尺寸检查装置包括：数码光学显微镜，用于对所述光学芯片组的表面进行观察与成像；反光镜，用于反射光线，使光线以预设角度入射至所述光学芯片组的端面上；真空夹具，用于固定至少一个所述光学芯片组；所述真空夹具包括吸附座、吸气管、吸气泵，所述吸附座通过所述吸气管与所述吸气泵连通。本实用新型还提供一种光学芯片组，所述光学芯片组研磨尺寸检查装置用于检查所述光学芯片组的研磨尺寸。本实用新型提供的光学芯片组研磨尺寸检查装置能够检查多条光学芯片组的研磨尺寸，可以检查到光学芯片组研磨尺寸不良和光波导不良。

技术领域

本实用新型涉及光学领域，具体涉及一种光学芯片组以及光学芯片组研磨尺寸检查装置。

背景技术

在生产光学芯片时，通常在生产过程中会产生研磨尺寸过少、研磨过量等等的不良现象，为了提高光学芯片的成品质量，需要检查并去除有问题的光学芯片。

但是，现有的检验装置只能单粒芯片检查，且不能直观的观察研磨尺寸和光波导不良，检查效率低。

因此，有必要提供一种新的光学芯片组和光学芯片组研磨尺寸检查装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种光学芯片组研磨尺寸检查装置，旨在解决相关技术中的只能单粒芯片检查，且不能直观的观察研磨尺寸和光波导不良，检查效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种光学芯片组，呈扁平的长条状；包括沿长度方向相对设置且平行的上表面和下表面；以及垂直于长度方向且相对设置的端面。

优选地，光学芯片组为自光学晶圆镜片上按照预设的宽度垂直于光学晶圆镜片切割获得的扁平的长条状镜片经研磨后形成。

本实用新型还提供一种光学芯片组研磨尺寸检查装置，用于检查上述光学芯片组，包括：数码光学显微镜，用于对光学芯片组的上表面进行观察与成像；反光镜，用于反射光线，使光线以预设角度入射至光学芯片组的端面上；真空夹具，用于固定至少一个光学芯片组；其中，真空夹具包括吸附座、吸气管、吸气泵，吸附座通过吸气管与吸气泵连通。

优选地，吸附座上形成有气孔，吸附座内部形成有空腔；吸附座上的气孔与空腔相连接；吸气泵通过吸气管与吸附座内部的空腔连通。

优选地，吸气管还包括固定螺母、密封圈，吸气管通过固定螺母连接吸附座，密封圈设于导气管与固定螺母连接处。

优选地，还包括滑台，滑台包括：滑轨、滑块以及滑动部；滑块可滑动的设置在滑轨上，滑动部与滑块固定连接；滑动部承载真空夹具；滑台垂直数码光学显微镜的观察方向设于数码光学显微镜的镜头下方。

优选地，反光镜角度可转动地设于真空夹具一侧，用于将反射光线射入光学芯片组的端面。

优选地，还包括设于数码光学显微镜的镜头上的环形灯管。

优选地，还包括显示装置，显示装置与数码光学显微镜相连。

优选地，数码光学显微镜放大倍数至少为400X。

本实用新型提供的光学芯片组研磨尺寸检查装置中，数码光学显微镜的镜头位于真空夹具上方，真空夹具通过吸气泵连接的吸气管吸气，使真空夹具的吸附座内部产生负压强，同时将光学芯片组的下表面吸附在吸附座上，且上表面朝上，真空夹具上方设有数码光学显微镜镜头，反光镜能够反射光线使之呈预设的角度射入光学芯片组中，从而能够实现对光学芯片组研磨尺寸的检查，同时也能够观察到光学芯片组的光波导。

附图说明