[实用新型]一种光学芯片组以及光学芯片组研磨尺寸检查装置

权利要求书

1.一种光学芯片组，其特征在于，所述光学芯片组呈扁平的长条状；所述光学芯片组包括沿长度方向相对设置且平行的上表面和下表面；以及垂直于所述长度方向且相对设置的端面；所述光学芯片组为自光学晶圆镜片上按照预设的宽度垂直于所述光学晶圆镜片切割获得的扁平的长条状镜片经研磨后形成。

2.一种光学芯片组研磨尺寸检查装置，用于检查如权利要求1中所述光学芯片组，其特征在于，所述光学芯片组研磨尺寸检查装置包括：

数码光学显微镜，用于对所述光学芯片组的上表面进行观察与成像；

反光镜，用于反射光线，使光线以预设角度入射至所述光学芯片组的端面上；

真空夹具，用于固定至少一个所述光学芯片组；其中，所述真空夹具包括吸附座、吸气管、吸气泵，所述吸附座通过所述吸气管与所述吸气泵连通。

3.如权利要求2所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，所述吸附座上形成有气孔，所述吸附座内部形成有空腔；所述吸附座上的气孔与空腔相连接；所述吸气泵通过所述吸气管与所述吸附座内部的空腔连通。

4.如权利要求3所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，所述吸气管还包括固定螺母、密封圈，所述吸气管通过固定螺母连接所述吸附座，所述密封圈设于导气管与固定螺母连接处。

5.如权利要求2所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，还包括滑台，所述滑台包括：滑轨、滑块以及滑动部；所述滑块可滑动的设置在所述滑轨上，所述滑动部与所述滑块固定连接；所述滑动部承载所述真空夹具；所述滑台垂直所述数码光学显微镜的观察方向设于所述数码光学显微镜的镜头下方。

6.如权利要求2所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，所述反光镜角度可转动地设于真空夹具一侧，用于将反射光线射入所述光学芯片组的端面。

7.如权利要求2所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，还包括设于所述数码光学显微镜的镜头上的环形灯管。

8.如权利要求2所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，还包括显示装置，所述显示装置与所述数码光学显微镜相连。

9.如权利要求2所述的光学芯片组研磨尺寸检查装置，其特征在于，所述数码光学显微镜放大倍数至少为400X。