[实用新型]一种测试探针台

说明书

本实用新型属于半导体检测设备领域，旨在提供一种测试探针台，其技术方案要点是包括机箱，所述机箱上开有固定腔，所述固定腔固定连接有装有芯片的圆晶片，所述固定腔还安装有探针片，所述探针片朝向圆晶片的一面设置有探针，所述探针片背离探针的一面上设有电磁线圈；这种测试探针台根据芯片要求产生磁场，使半导体芯片能被成功检测。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测设备领域，特别涉及一种测试探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发中，主要用于检测半导体芯片的质量。

目前，申请公布号为CN104698230A的中国专利公开了一种半导体芯片测试手动探针台，它包括探针台底座、承片台、承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调机构，其特征是，锁紧机构由真空吸盘构成，微调机构由连杆、微调导向板、微调手柄、关节轴承、调心轴承构成，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；微调手柄底端和关节轴承连接，微调手柄中部通过调心轴承连接连杆一端，连杆另一端与承片台座连接，拨动微调手柄，调心轴承能在水平面内做360°摆动，并带动连杆在水平面内做任何方向的移动，实现承片台座的微调。

这种半导体芯片测试手动探针台虽然完成芯片的检测，但是现有某种型号的芯片，其在正常的环境中处于低活跃状态，需要在磁场中才能检测，而现有的探针台无法提供磁场，无法检测芯片。

实用新型内容

本实用新型是提供一种测试探针台，根据芯片要求产生磁场，使半导体芯片能被成功检测。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种测试探针台，包括机箱，所述机箱上开有固定腔，所述固定腔固定连接有装有芯片的圆晶片，所述固定腔还安装有探针片，所述探针片朝向圆晶片的一面设置有探针，所述探针片背离探针的一面上设有电磁线圈。

通过采用上述技术方案，在工作的过程中，首先将需要监测的芯片安装在圆晶片上，之后将圆晶片固定在固定腔中，此时探针片带有探针的一面正对于圆晶片，之后电磁线圈通电启动由于电磁感应，产生磁场激活芯片，使探针可以顺利的检测半导体芯片。

进一步设置：探针片的中心位置设有探针固定部，所述探针通过焊接的方式固定在探针固定部上。

通过采用上述技术方案，探针固定部主要用于精准的确定探针的安装位置并通过焊接方式使探针牢固地固定连接杂在探针固定部。

进一步设置：探针从两侧伸出有呈辐射状的导线，所述探针固定部设有呈均匀圆周分布的用于和导线配合的圆孔。

通过采用上述技术方案，探针的导线分布在其两侧并呈对称分布，并且导线穿过探针固定部周围的圆孔与外界的设备相连，当探针完成半导体芯片检测之后，检测信号经过导线向外界传导。

进一步设置：探针片上粘接有覆盖探针固定部的防护罩。

通过采用上述技术方案，防护罩遮盖探针，防止探针在工作的过程中遭到破坏，提高了探针的使用寿命。

进一步设置：电磁线圈的两端分别设有线圈固定块，所述线圈固定块固定连接在探针片的表面。

通过采用上述技术方案，线圈固定块主要用于作为电磁线圈的安装接触，电磁线圈通过线圈固定块安装在探针片，使电磁线圈激发的磁场可以影响到半导体芯片。

进一步设置：探针片上设有两个接线槽，所述接线槽关于探针片长边中线对称设置并且位于电磁线圈的两侧。

通过采用上述技术方案，接线槽主要用于和导线带的端部配合，在检测的过程中，传输数据的导线带通过接线槽与探针片数据相通，便于控制整个探针的工作，同时保护导线带的接头处