[实用新型]一种测试探针台有效
| 申请号： | 201820771930.0 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN208239497U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 薛昌和;贾春锋 | 申请（专利权）人： | 江阴佳泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试探针 固定腔 探针片 圆晶片 机箱 探针 半导体检测设备 技术方案要点 半导体芯片 电磁线圈 芯片要求 磁场 背离 芯片 检测 成功 | ||
1.一种测试探针台，其特征是：包括机箱（1），所述机箱（1）上开有固定腔（14），所述固定腔（14）固定连接有装有芯片的圆晶片（2），所述固定腔（14）还安装有探针片（3），所述探针片（3）朝向圆晶片（2）的一面设置有探针（31），所述探针片（3）背离探针（31）的一面上设有电磁线圈（36）。
2.根据权利要求1所述的一种测试探针台，其特征是：所述探针片（3）的中心位置设有探针固定部（32），所述探针（31）通过焊接的方式固定在探针固定部（32）上。
3.根据权利要求2所述的一种测试探针台，其特征是：所述探针（31）从两侧伸出有呈辐射状的导线（33），所述探针固定部（32）设有呈均匀圆周分布的用于和导线（33）配合的圆孔。
4.根据权利要求3所述的一种测试探针台，其特征是：所述探针片（3）上粘接有覆盖探针固定部（32）的防护罩（34）。
5.根据权利要求1所述的一种测试探针台，其特征是：所述电磁线圈（36）的两端分别设有线圈固定块（361），所述线圈固定块（361）固定连接在探针片（3）的表面。
6.根据权利要求5所述的一种测试探针台，其特征是：所述探针片（3）上设有两个接线槽（35），所述接线槽（35）关于探针片（3）长边中线对称设置并且位于电磁线圈（36）的两侧。
7.根据权利要求6所述的一种测试探针台，其特征是：所述线圈固定块（361）伸出有数据线卡接在接线槽（35）中。
8.根据权利要求1所述的一种测试探针台，其特征是：所述固定腔中设有两个相对运动的固定板（13），两个固定板（13）上分别设置有固定块（131），所述固定块（131）上设有沿长度方向设置的卡槽（133）。
9.根据权利要求8所述的一种测试探针台，其特征是：所述固定块（131）设有垂直设置的固定螺栓（132）若干，所述固定螺栓（132）的一端伸出到卡槽（133）中。
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