[实用新型]一种电增强氢钝化设备

说明书

本实用新型公开了太阳能电池片制造装备领域内的一种电增强氢钝化设备，包括机架，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。本实用新型能够有效降低碎片率和坏片率；注入连续，可缩短整体注入时间；各单炉的工位独立工作，互不影响；工艺腔的温度控制更稳定，电流注入连续，电池提效的效果好。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池片制造装备领域，特别涉及一种电增强氢钝化设备。

背景技术

目前，商用晶体硅太阳能电池所采用的硅晶体中通常含有大量的杂质和结构缺陷。这些杂质和缺陷包括：硼与氧形成的复合体、过渡金属杂质、位错、晶界等。它们作为光生载流子的复合中心使电池基体中的少数载流子寿命下降，从而使太阳能电池的转换效率相应地降低。

实验表明氢原子在硅晶体中能够与其中多数的杂质和缺陷反应，钝化这些复合中心使其复合活性降低，从而改善太阳能电池的电学性能。太阳能电池中的氢可来源于电池表面沉积的富含氢的氮化硅薄膜或者其他富含氢的薄膜、氢等离子体气氛等。然而经过常规的太阳能电池制造流程，只有极少量的氢原子进入电池基体内部对杂质和缺陷起到钝化作用。所以通过充分发挥氢的钝化作用可以进一步发掘太阳能电池转换效率的提升空间。

现有技术中，将电池片送入氢钝化炉内，电池片依次通过氢钝化炉的多个连续设置的工艺腔，各工艺腔对电池片逐一进行工艺处理，为释放产能往往需要多个工艺腔进行相同参数的连续处理。其不足之处在于：1、电池片每一腔都需要进行一次注入、需要一次机械接触，碎片率、坏片率高；2、当某一零部件故障需要维修时，需要整机停产，对产能有很大影响；3、电池片在工艺腔转换的过程中不可避免的出现温度波动，以及电注入的不连续，对电池提效的效果有影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种电增强氢钝化设备，能够有效降低碎片率和坏片率；注入连续，可缩短整体注入时间；各单炉的工位独立工作，互不影响；工艺腔的温度控制更稳定，电流注入连续，电池提效的效果好。

本实用新型的目的是这样实现的：一种电增强氢钝化设备，包括机架，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。

本实用新型工作时，电池片层叠在待料区上料，在传动组件的带动下，料盒移动到工艺腔，闸板关闭形成独立的腔室，上电极板下压与电池片上部接触，下电极板上顶与电池片下部接触，上下电极导通后，对电池片通电施加电场，利用冷却组件控制工艺腔的温度，持续通电50~60分钟后，传动组件带动电池片进入冷却区，冷却组件工作，直至电池片冷却至室温，处理完成。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：1、各单炉独立工作，对电池片持续通电，无炉腔更换，使通电更连续、工艺温度更加平稳，电池提效的效果好；2、单腔组合的方式实现预计产能，各工艺腔独立控制，互不影响，实现不停机维修，故障对产能影响小；3、每组料只需要一次机械接触，降低碎片率和坏片率。

作为本实用新型的进一步改进，所述单炉包括左右对应设置的两侧板，所述传动组件包括通过轴承座设置在单炉下方的主传动轴，主传动轴的两端均设有主同步带轮，主同步带轮经同步带与副同步带轮传动连接，两副同步带轮分别安装在一拖动滚轮轴上，拖动滚轮轴的另一端穿过对应侧板并伸入单炉内，拖动滚轮轴的伸入端连接有拖动滚轮，单炉底部依次间隔设置有若干从动滚轮，所述主传动轴经同步带轮组与减速电机传动连接。减速电机带动主传动轴转动，主传动轴经主同步带轮带动副同步带轮转动，拖动滚轮轴转动，拖动滚轮转动，带动料盒移动，电池片实现进入工艺腔和冷却区。