[实用新型]一种电增强氢钝化设备有效
| 申请号: | 201820731715.8 | 申请日: | 2018-05-17 |
| 公开(公告)号: | CN208173613U | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
| 发明(设计)人: | 徐小兵;徐小军;李大海 | 申请(专利权)人: | 无锡秉杰机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 工艺腔 单炉 本实用新型 上电极组件 下电极组件 电增强 冷却区 氢钝化 太阳能电池片 可上下移动 并列设置 传动组件 冷却组件 依次设置 制造装备 左右两侧 待料区 可升降 碎片率 工位 料区 提效 闸板 冷却 电池 | ||
1.一种电增强氢钝化设备,包括机架,其特征在于,所述机架上并列设置有若干个单炉,所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区,所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件,所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板,工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件,上电极组件和下电极组件互相对应设置,所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。
2.根据权利要求1所述的一种电增强氢钝化设备,其特征在于,所述单炉包括左右对应设置的两侧板,所述传动组件包括通过轴承座设置在单炉下方的主传动轴,主传动轴的两端均设有主同步带轮,主同步带轮经同步带与副同步带轮传动连接,两副同步带轮分别安装在一拖动滚轮轴上,拖动滚轮轴的另一端穿过对应侧板并伸入单炉内,拖动滚轮轴的伸入端连接有拖动滚轮,单炉底部依次间隔设置有若干从动滚轮,所述主传动轴经同步带轮组与减速电机传动连接。
3.根据权利要求2所述的一种电增强氢钝化设备,其特征在于,所述上电极组件包括上电极板,上电极板固定在上电极绝缘板上,上电极绝缘板上设有散热件,上电极绝缘板上连接有至少2根竖直的上电极导杆,上电极导杆经上电极连接件与上电极气缸的活塞杆相连,上电极气缸固定在侧板上,所述侧板上对应上电极连接件设有上电极导轨。
4.根据权利要求1或2所述的一种电增强氢钝化设备,其特征在于,所述下电极组件包括下电极板,下电极板固定在下电极绝缘板上,下电极绝缘板上设有散热件,下电极绝缘板上连接有至少2根竖直的下电极导杆,下电极导杆向下穿过单炉的底板,下电极导杆的下端经下电极连接件与下电极气缸的活塞杆相连。
5.根据权利要求1或2所述的一种电增强氢钝化设备,其特征在于,所述冷却组件为吹气冷却组件。
6.根据权利要求1或2所述的一种电增强氢钝化设备,其特征在于,所述单炉上设有检测工艺腔内温度的温度传感器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





