[实用新型]扩散炉炉口排风装置有效
| 申请号： | 201820724846.3 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN208298853U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 周典儒;孔海洋;杨强;黄海燕;陆川 | 申请（专利权）人： | 浙江正泰太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人： | 李非非;杨兴宇 |
| 地址： | 310053 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散炉 炉口 排风装置 偏磷酸 排风罩 废液 炉管 扩散设备 接液盘 排风管 排风口 硅片 开口 内部供电线路 本实用新型 废液污染 碳化硅桨 贴合连接 短路 冷凝 良率 连通 承接 腐蚀 生产 | ||
1.一种扩散炉炉口排风装置，所述装置包括：排风罩(100)和多个排风管(200)，其中：
所述排风罩(100)设置有炉管开口(101)和多个排风口(102)；
所述多个排风管(200)与所述多个排风口(102)连通；
其特征在于，所述装置还包括接液盘(300)，所述接液盘(300)设置于所述炉管开口(101)下方，与所述排风罩(100)贴合连接。
2.如权利要求1所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)与所述排风罩(100)贴合一侧的侧壁顶部形状和所述炉管开口(101)匹配。
3.如权利要求2所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)与所述排风罩(100)贴合一侧的侧壁顶部还设置有钩挂部件(302)。
4.如权利要求1所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)为长方形接液盘。
5.如权利要求4所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)与所述排风罩(100)垂直的两侧壁还设置有挡板(301)。
6.如权利要求5所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)为长30.5厘米、宽21厘米、高2厘米的长方形接液盘。
7.如权利要求1至6任一项所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述排风罩(100)为边长57厘米的正方形排风罩。
8.如权利要求7所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述炉管开口(101)设置于所述正方形排风罩的中心。
9.如权利要求8所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述正方形排风罩设置有4个排风口(102)，所述4个排风口(102)分布于所述正方形排风罩四角。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江正泰太阳能科技有限公司，未经浙江正泰太阳能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820724846.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：晶硅组件线缆固定装置
- 下一篇：一种用于库特勒制绒槽的药液匀流装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
