[实用新型]一种堆叠式顶升分片机构有效

专利信息
申请号: 201820705029.3 申请日: 2018-05-13
公开(公告)号: CN208835085U 公开(公告)日: 2019-05-07
发明(设计)人: 董华强;谢威武;韩艺畴;邓小明;夏德洪 申请(专利权)人: 东莞晟能自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523000 广东省东莞市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 硅片 载具 顶升 本实用新型 分片机构 横移机构 堆叠式 抬升力 最顶端 风刀 硅片升降装置 对称设置 风刀机构 风机连接 横向方向 机台故障 驱动连接 生产效率 竖直向上 送风机 叠片 堆叠 两组 装入 驱动 移动
【说明书】:

本实用新型公开了一种堆叠式顶升分片机构,包括硅片载具,用于装入堆叠好的硅片;载具横移机构,设置在硅片载具下方并与之驱动连接,以实现驱动硅片载具沿横向方向移动;硅片升降装置,设置在载具横移机构的下方,并且与硅片载具对应设置,以实现将硅片载具内的硅片沿竖直向上的方向顶升输送;风刀机构,设置在硅片载具的旁侧,并与送风机连接,能发出有规律的气流,形成稳定的抬升力,将最顶端的硅片与下方的硅片分离;本实用新型通过在硅片载具的两侧对称设置两组风刀,风刀与风机连接,能够发出有规律的气流,形成稳定的抬升力,将最顶端的硅片以下方的硅片分离,避免叠片的情况,减少机台故障,提高产品的生产效率和品质。

技术领域

本实用新型涉及自动化设备技术领域,尤其是涉及一种堆叠式顶升分片机构。

背景技术

目前太阳能电池生产线或者光伏板生产线中,硅片上料大多是由操作者手动来完成,不仅工作效率低,操作者的劳动强度大,还由于人手接触,导致硅片的光电转化效率降低,甚至损坏硅片。另外,在生产过程中,还会设计到湿法工艺处理步骤,在经过湿法工艺处理后,硅片的重量会存在不同程度的变化,若重量变化过大,则可判定该硅片为不良品,无法满足工艺生产需求,应该将不良品剔除,避免影响产品质量,然而,现有技术中,并有可以全自动检测硅片重量的上料机,因此,采用不良品的硅片制造出来的产品,因质量而被召回,给企业带来巨大的损失,因此申请人申请了一种自动堆叠式上料机,可以自动输送硅片,并且同日申请了实用新型专利,然而,自动堆叠式上料在自动输送硅片的过程中,相邻的两片硅片之间会发生粘黏,无法分开,影响后续的生产工艺,因此需要改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种能够将相邻两块硅片分离的堆叠式顶升分片机构。

为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:

一种堆叠顶升分片机构,包括硅片载具,用于装入堆叠好的硅片;载具横移机构,设置在硅片载具下方并与之驱动连接,以实现驱动硅片载具沿横向方向移动;硅片升降装置,设置在载具横移机构的下方,并且与硅片载具对应设置,以实现将硅片载具内的硅片沿竖直向上的方向顶升输送;风刀机构,设置在硅片载具的旁侧,并与送风机连接,能发出有规律的气流,形成稳定的抬升力,将最顶端的硅片与下方的硅片分离。

进一步的技术方案中,所述硅片载具包括载物筐,载物筐的底板上设有通孔,载物筐底板的上方设有硅片托板,堆叠好的硅片放置在硅片托板上方,硅片托板能在载物筐内沿竖直方向运动。

进一步的技术方案中,所述载具横移机构包括固定底板,固定板设置在所述硅片升降装置上方,固定底板的下方设有横推气缸,固定底板的表面设有滑轨副,滑轨副上设有横移板,横移板与横推气缸的输出端驱动连接,以实现在横推气缸的推动下沿横向方向来回移动,所述硅片载具固定在横移板的表面或上方。

进一步的技术方案中,所硅片述升降机构包括升降底板、硅片顶杆、升降丝杠、升降滑块和升降伺服电机,升降底板固定连接所述载具横移机构的下方,升降滑块固通过滑轨副与升降底板滑动连接,硅片顶杆的一端与升降滑块固定连接,另一端穿过通孔与所述硅片托板接触,升降丝杠竖直设置在升降底板上,并与升降滑块驱动连接,升降伺服电机的动力输出端与升降丝杠驱动连接。

进一步的技术方案中,所述硅片顶杆与硅片托板的一端设有第一感应器,用于检测所述硅片载具中是否有硅片。

进一步的技术方案中,所述风刀机构包括对称设置在所述硅片载具前后两侧的风刀安装架,风刀安装架上设有左右对称设置的第一风刀和第二风刀,第一风刀和第二风刀之间设有第二感应器,第二感应器用于检测所述硅片升降装置是否将最顶端硅片顶升到位。

进一步的技术方案中,所述第二感应器选用光纤感应器。

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