[实用新型]一种堆叠式顶升分片机构

权利要求书

1.一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：包括

硅片载具，用于装入堆叠好的硅片；

载具横移机构，设置在硅片载具下方并与之驱动连接，以实现驱动硅片载具沿横向方向移动；

硅片升降装置，设置在载具横移机构的下方，并且与硅片载具对应设置，以实现将硅片载具内的硅片沿竖直向上的方向顶升输送；

风刀机构，设置在硅片载具的旁侧，并与送风机连接，能发出有规律的气流，形成稳定的抬升力，将最顶端的硅片与下方的硅片分离。

2.根据权利要求1所述的一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：所述硅片载具包括载物筐，载物筐的底板上设有通孔，载物筐底板的上方设有硅片托板，堆叠好的硅片放置在硅片托板上方，硅片托板能在载物筐内沿竖直方向运动。

3.根据权利要求1所述的一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：所述载具横移机构包括固定底板，固定板设置在所述硅片升降装置上方，固定底板的下方设有横推气缸，固定底板的表面设有滑轨副，滑轨副上设有横移板，横移板与横推气缸的输出端驱动连接，以实现在横推气缸的推动下沿横向方向来回移动，所述硅片载具固定在横移板的表面或上方。

4.根据权利要求2所述的一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：所硅片述升降机构包括升降底板、硅片顶杆、升降丝杠、升降滑块和升降伺服电机，升降底板固定连接所述载具横移机构的下方，升降滑块固通过滑轨副与升降底板滑动连接，硅片顶杆的一端与升降滑块固定连接，另一端穿过通孔与所述硅片托板接触，升降丝杠竖直设置在升降底板上，并与升降滑块驱动连接，升降伺服电机的动力输出端与升降丝杠驱动连接。

5.根据权利要求4所述的一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：所述硅片顶杆与硅片托板的一端设有第一感应器，用于检测所述硅片载具中是否有硅片。

6.根据权利要求1所述的一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：所述风刀机构包括对称设置在所述硅片载具前后两侧的风刀安装架，风刀安装架上设有左右对称设置的第一风刀和第二风刀，第一风刀和第二风刀之间设有第二感应器，第二感应器用于检测所述硅片升降装置是否将最顶端硅片顶升到位。

7.根据权利要求6所述的一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：所述第二感应器选用光纤感应器。