[实用新型]平面靶整平用矫正平台机构有效
| 申请号： | 201820698692.5 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208183065U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 矫正 本实用新型 平台机构 平面靶 整平 千金 下层 工艺参数优化 工艺成本 工艺难题 平面靶材 靶材 漏空 薄膜 上层 | ||
【权利要求书】：
1.平面靶整平用矫正平台机构，其特征在于，包括双层矫正平台、平面靶材、液压千金顶、支撑脚，所述双层矫正平台上层与液压千金顶连接，所述液压千金顶下方对应的双层矫正平台下层呈漏空状态，所述双层矫正平台下层上方设有平面靶材。
2.根据权利要求1所述平面靶整平用矫正平台机构，其特征在于，所述液压千金顶共设有4组，每组设有3个液压千金顶。
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