[实用新型]载台机构和蒸镀设备

说明书

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种载台机构和蒸镀设备。该载台机构包括用于调节相对设置的上载台、下载台的平行度的调节装置，调节装置包括检测模块、控制模块和随动模块，其中：检测模块，设置于上载台或下载台上，用于检测上载台与下载台之间的距离，并将处于不同方位象限内的位置的距离传送至控制模块；控制模块，用于接收不同方位象限内的位置的距离，并根据不同方位的距离与预设距离的差值，控制随动模块的动作；多组随动模块，每组随动模块设置于上载台与下载台的对应位置，用于调节上载台与下载台之间在该位置的距离。该载台机构解决了上载台和下载台无法实时监控平行度的问题，实现平行度自动调整，而无需人为进行测量。

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种载台机构和蒸镀设备。

背景技术

真空蒸发镀膜法简称真空蒸镀(Evaporation)法，是在真空蒸镀室中通过蒸镀源对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的原子或分子从其表面气化逸出形成蒸汽流，入射到待蒸镀基板表面，凝结形成固态薄膜的方法。真空蒸镀法已经广泛应用于显示器件的制作过程，例如有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)显示面板的阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的包括发光材料的各有机层。

现有的蒸镀装置包括真空蒸镀室，由于金属掩模板放在掩模板载具上，掩模板外框在运输和使用中存在边角磕碰，或者掩模板载具上存在蒸镀材料和异物影响掩模板与冷却载板以及待蒸镀基板的平行度，导致掩模板和待蒸镀基板平行度欠佳，进而导致在冷却载板压实掩模板和待蒸镀基板时存在受力不均，出现待蒸镀基板破损等情况。

目前的调节方式通常为人为测量、调节，误差较大。如何保证蒸镀基板和掩模板之间的平行度，成为目前蒸镀工艺中亟待解决的技术问题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中上述不足，提供一种载台机构和蒸镀设备，解决了蒸镀基板和掩模板无法实时监控平行度的问题，实现平行度自动调整。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该载台机构，包括用于调节相对设置的上载台、下载台的平行度的调节装置，所述调节装置包括检测模块、控制模块和随动模块，其中：

所述检测模块，设置于所述上载台或所述下载台上，用于检测所述上载台与所述下载台之间的距离，并将处于不同方位象限内的位置的距离传送至所述控制模块；

所述控制模块，用于接收不同方位象限内的位置的距离，并根据不同方位的距离与预设距离的差值，控制所述随动模块的动作；

多组所述随动模块，每组随动模块设置于所述上载台与所述下载台的对应位置，用于调节所述上载台与所述下载台之间在该位置的距离。

优选的是，所述检测模块包括至少三个距离传感器，其中有至少三个距离传感器不在一条直线上，所述距离传感器均匀设置在不同方位象限内。

优选的是，所述上载台或所述下载台为方形，所述检测模块包括四个距离传感器，四个所述距离传感器设置于所述上载台或所述下载台的四角。

优选的是，所述随动模块包括伺服电机、固定座、丝杆和丝杆螺母，其中：

所述上载台开设有第一通孔，所述固定座设置于所述上载台对应着所述第一通孔的上方；

所述伺服电机，设置于所述固定座的上方，通过所述固定座与所述上载台固定；

所述下载台开设有第二通孔，所述丝杆螺母设置于所述第二通孔内；

所述丝杆，其一端穿过所述第一通孔与所述伺服电机的输出轴连接，另一端通过所述丝杆螺母与所述下载台连接，所述伺服电机用于驱动所述丝杆旋转。