[实用新型]载台机构和蒸镀设备

权利要求书

1.一种载台机构，其特征在于，包括用于调节相对设置的上载台、下载台的平行度的调节装置，所述调节装置包括检测模块、控制模块和随动模块，其中：

所述检测模块，设置于所述上载台或所述下载台上，用于检测所述上载台与所述下载台之间的距离，并将处于不同方位象限内的位置的距离传送至所述控制模块；

所述控制模块，用于接收不同方位象限内的位置的距离，并根据不同方位的距离与预设距离的差值，控制所述随动模块的动作；

多组所述随动模块，每组随动模块设置于所述上载台与所述下载台的对应位置，用于调节所述上载台与所述下载台之间在该位置的距离。

2.根据权利要求1所述的载台机构，其特征在于，所述检测模块包括至少三个距离传感器，其中有至少三个距离传感器不在一条直线上，所述距离传感器均匀设置在不同方位象限内。

3.根据权利要求2所述的载台机构，其特征在于，所述上载台或所述下载台为方形，所述检测模块包括四个距离传感器，四个所述距离传感器设置于所述上载台或所述下载台的四角。

4.根据权利要求1所述的载台机构，其特征在于，所述随动模块包括伺服电机、固定座、丝杆和丝杆螺母，其中：

所述上载台开设有第一通孔，所述固定座设置于所述上载台对应着所述第一通孔的上方；

所述伺服电机，设置于所述固定座的上方，通过所述固定座与所述上载台固定；

所述下载台开设有第二通孔，所述丝杆螺母设置于所述第二通孔内；

所述丝杆，其一端穿过所述第一通孔与所述伺服电机的输出轴连接，另一端通过所述丝杆螺母与所述下载台连接，所述伺服电机用于驱动所述丝杆旋转。

5.根据权利要求4所述的载台机构，其特征在于，所述随动模块还包括编码器和伺服放大器，所述伺服电机的转速经所述编码器编码，并经所述伺服放大器放大后，传送至所述控制模块。

6.根据权利要求4所述的载台机构，其特征在于，所述上载台与所述下载台为方形，四组所述随动模块分别对应设置于所述上载台与所述下载台的四角。

7.根据权利要求4所述的载台机构，其特征在于，所述调节装置还包括多组定位模块，所述定位模块包括调心器和定位楞，其中：

所述调心器，设置于所述第二通孔内、位于所述丝杆的外侧；

所述定位楞，设置于所述第二通孔内、位于所述调心器的外侧，用于将所述调心器固定在所述第二通孔内。

8.根据权利要求7所述的载台机构，其特征在于，每组所述定位模块中的所述定位楞为四个，所述定位楞分别两两设置于互相垂直的两轴线的对称位置。

9.根据权利要求7所述的载台机构，其特征在于，所述调心器为圆台状，且所述调心器沿轴线开设有通孔。

10.根据权利要求7所述的载台机构，其特征在于，在所述调心器和所述定位楞的至少一侧还设置有密封法兰。

11.根据权利要求1-10任一项所述的载台机构，其特征在于，所述控制模块为可编程逻辑控制器。

12.根据权利要求1-10任一项所述的载台机构，其特征在于，所述调节装置还包括收发模块，用于与人机交互界面进行信息交互。

13.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-12任一项所述的载台机构。

14.根据权利要求13所述的蒸镀设备，其特征在于，所述上载台包括吸附载板，所述吸附载板通过固定结构固定于靠近所述下载台的一侧，所述吸附载板设置于所述吸附载板上；

并且，所述吸附载板的中心与所述下载台的中心处于同一竖直线上。

15.根据权利要求14所述的蒸镀设备，其特征在于，所述吸附载板朝向所述下载台的一面设置有用于承载蒸镀基板的基板承载区，所述下载台朝向所述吸附载板的一面设置有用于承载掩模板的掩模板承载区，所述基板承载区的投影面积不小于所述掩模板承载区的投影面积。