[实用新型]一种用于机械手上的感压装置

说明书

本实用新型涉及一种用于机械手上的感压装置，它包括：吊钩平台，其包括与机械手吊钩固定连接的第一连接板；机械手固定平台，其与所述吊钩平台共同用于支撑机械手吊钩，包括吊板；升降导向机构，所述升降导向机构用于将所述吊板和所述第一连接板连接且用于使所述吊板和所述第一连接板之间相对移动时进行导向，其包括至少一个直线轴承和对应的插置于所述直线轴承中的升降轴；行程感应机构，其设置在所述吊钩平台和所述机械手固定平台之间，所述行程感应机构包括一个限位开关。所述吊钩平台相对所述升降导向机构向上移动时可以触发所述限位开关从而使机械手停止工作，能够防止机械手继续下移造成大的事故。

技术领域

本实用新型涉及一种感压装置，特别是涉及一种用于机械手上的感压装置。

背景技术

在半导体清洗机中，机械手抓取花篮传输到清洗机中的花篮放置槽中，花篮中插置有待清洗的晶硅片。机械手抓取外部花篮往花篮放置槽内运输时，在下降过程中因定位不准确会撞到槽体，或者槽内已经有花篮，因程序出错机械手会继续放入花篮导致碰撞到槽内的花篮。如何避免上述情况的发生，从而保护机械手和花篮的安全防止事故进一步扩大，需要设计一种感压装置，使得机械手在下降过程中碰撞到物体时即停止工作。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种用于机械手上的感压装置，解决了如何使机械手下降过程中碰撞到物体即停止工作的问题

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种用于机械手上的感压装置，它包括：

吊钩平台，所述吊钩平台包括与机械手吊钩固定连接的第一连接板；

机械手固定平台，所述机械手固定平台和所述吊钩平台共同用于支撑机械手吊钩，所述机械手固定平台包括吊板，所述吊板用于使所述机械手固定平台与所述吊钩平台连接；

升降导向机构，所述升降导向机构用于将所述吊板和所述第一连接板连接且用于使所述吊板和所述第一连接板之间相对移动时进行导向，所述升降导向机构包括至少一个直线轴承和对应的插置于所述直线轴承中的升降轴；

行程感应机构，所述行程感应机构设置在所述吊钩平台和所述机械手固定平台之间，所述行程感应机构包括一个限位开关；

所述吊钩平台相对所述升降导向机构向上移动时可以触发所述限位开关从而使机械手停止工作。

优化地，所述吊钩平台和所述机械手固定平台之间还设置有弹性机构。

优化地，所述直线轴承固定安装在所述吊板上，所述升降轴固定安装在所述第一连接板上。

进一步地，所述直线轴承和对应的所述升降轴均设置有三个。

优化地，所述限位开关为接触式限位开关。

进一步地，所述限位开关安装在所述机械手固定平台上，所述第一连接板上安装有拨动杆，所述拨动杆随着所述第一连接板向上移动可拨动所述限位开关的传动杆并触发所述限位开关。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：