[实用新型]一种具有两层重布线层的芯片封装结构有效
申请号: | 201820629629.6 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN208622710U | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 彭祎;任超;方梁洪;罗立辉;于政 | 申请(专利权)人: | 宁波芯健半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人: | 宋缨;孙健 |
地址: | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 重布线层 金属种子层 第二保护层 焊盘 两层 芯片封装结构 本实用新型 第一保护层 钝化层 凸点 芯片 区域布置 保护层 常规的 覆盖 灵活 | ||
1.一种具有两层重布线层的芯片封装结构,包括芯片(1)和重布线层,其特征在于,所述的芯片(1)的上侧设置有若干个焊盘(2),焊盘(2)以外的区域布置有钝化层(3),钝化层(3)上侧布置有第一保护层(4),所述的焊盘(2)的上侧布置有延伸至第一保护层(4)上的第一金属种子层(5),所述的第一金属种子层(5)的上侧布置有第一重布线层(6),所述的第一保护层(4)的上侧布置有将第一重布线层(6)覆盖的第二保护层(7),第二保护层(7)的上侧布置有与第一重布线层(6)相接触的第二层金属种子层(8),所述的第二层金属种子层(8)的上侧覆盖有第二重布线层(9),所述的第二保护层(7)的上侧布置有第三保护层(10),所述的第三保护层(10)的上布置有与第二重布线层(9)相接触的第三金属种子层(11),所述的第三金属种子层(11)上安装有凸点(12)。
2.根据权利要求1所述的具有两层重布线层的芯片封装结构,其特征在于:所述的第一保护层(4)、第二保护层(7)和第三保护层(10)均由绝缘材料整体涂覆而成。
3.根据权利要求1所述的具有两层重布线层的芯片封装结构,其特征在于:所述的第一金属种子层(5)、第二层金属种子层(8)和第三金属种子层(11)均为单一结构或者多层结构并且采用溅射或者沉积的方式来涂覆。
4.根据权利要求3所述的具有两层重布线层的芯片封装结构,其特征在于:所述的第一金属种子层(5)、第二层金属种子层(8)和第三金属种子层(11)的厚度为0.2-1um。
5.根据权利要求1所述的具有两层重布线层的芯片封装结构,其特征在于:所述的第一重布线层(6)和第二重布线层(9)均为单一结构或者多层结构,厚度为5-15um。
6.根据权利要求1所述的具有两层重布线层的芯片封装结构,其特征在于:所述的凸点(12)为单一结构或者多层结构并采用电化学沉积或者印刷方式制作而成。
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