[实用新型]氮化硅沉积炉管

权利要求书

1.一种氮化硅沉积炉管，包括外石英管和内石英管，所述内石英管设置于所述外石英管内部，所述内石英管内部还设置有晶舟，所述晶舟下方设有晶舟载台，其特征在于，所述晶舟载台的下方设有载盘遮护垫，所述载盘遮护垫的直径大于所述晶舟载台的直径且大于所述内石英管的内径，所述载盘遮护垫边缘设置有环形遮护部，所述环形遮护部的外径与所述载盘遮护垫的直径为对应匹配，所述环形遮护部的外径小于所述外石英管的内径，所述环形遮护部顶部为空的，所述晶舟底端设有底座套环，所述底座套环套于所述晶舟载台上，所述外石英管设有底部进气口及排气口。

2.根据权利要求1所述的氮化硅沉积炉管，其特征在于，所述进气口设于所述外石英管的一面，并且所述进气口距离氮化硅沉积炉管底部的距离小于所述环形遮护部顶部距离氮化硅沉积炉管底部的距离。

3.根据权利要求1所述的氮化硅沉积炉管，其特征在于，所述排气口设于所述外石英管在相对应于所述进气口的另一面，所述排气口距离氮化硅沉积炉管底部的距离大于所述进气口距离氮化硅沉积炉管底部的距离。

4.根据权利要求1所述的氮化硅沉积炉管，其特征在于，所述载盘遮护垫的直径介于470～490mm。

5.根据权利要求1所述的氮化硅沉积炉管，其特征在于，所述环形遮护部的高度介于90～110mm。

6.根据权利要求1所述的氮化硅沉积炉管，其特征在于，所述晶舟载台的直径介于290～310mm，所述晶舟载台的高度介于25～35mm。

7.根据权利要求1所述的氮化硅沉积炉管，其特征在于，所述底座套环的内径介于310～330mm，所述底座套环的高度与所述晶舟载台的高度对应匹配。