[实用新型]位线连接结构及存储器

权利要求书

1.一种位线连接结构，其特征在于，包括：

基底；

多条奇数行位线和偶数行位线，分离且平行排列地位于所述基底上，所述奇数行位线和所述偶数行位线相互平行且沿第一方向延伸；在所述第一方向的一侧，所述奇数行位线相对突出于所述偶数行位线以形成有第一接触区域；在所述第一方向的另一侧，所述偶数行位线相对突出于所述奇数行位线以形成有第二接触区域；以及，

第一接触垫和第二接触垫，所述第一接触垫设置于所述奇数行位线在所述第一接触区域中的突出端上，所述第二接触垫设置于所述偶数行位线在所述第二接触区域中的突出端上，使所述第一接触垫与所述奇数行位线相导接，所述第二接触垫与所述偶数行位线相导接。

2.如权利要求1所述的位线连接结构，其特征在于，所述第一接触区域和所述第二接触区域在所述第一方向上的尺寸均介于2nm～200nm之间。

3.如权利要求1所述的位线连接结构，其特征在于，所述第一接触垫和所述第二接触垫在所述第一方向上的尺寸均介于30nm～80nm之间，所述第一接触垫和所述第二接触垫在第二方向上的尺寸均介于20nm～60nm之间，所述第二方向与所述第一方向相垂直。

4.如权利要求1所述的位线连接结构，其特征在于，所述奇数行位线与所述偶数行位线均包括依次位于所述基底上的介质层、第一导电层与第二导电层。

5.如权利要求4所述的位线连接结构，其特征在于，所述介质层的材质包括氮化硅或氧化硅，所述第一导电层的材质包括钛、氮化硅、硅化钨中的一种或多种，所述第二导电层的材质包括钨。

6.如权利要求1所述的位线连接结构，其特征在于，所述奇数行位线与所述偶数行位线均呈直线形。

7.如权利要求1所述的位线连接结构，其特征在于，所述奇数行位线与所述偶数行位线均呈波浪形。

8.一种存储器，其特征在于，包括：

基板；

多条奇数行位线和偶数行位线，分离且平行排列地位于所述基板上，所述奇数行位线和所述偶数行位线相互平行且沿第一方向延伸；在所述第一方向的一侧，所述奇数行位线相对突出于所述偶数行位线以形成有第一接触区域，在所述第一方向的另一侧，所述偶数行位线相对突出于所述奇数行位线以形成有第二接触区域；以及，

第一接触垫和第二接触垫，所述第一接触垫设置于所述奇数行位线在所述第一接触区域中的突出端上，所述第二接触垫设置于所述偶数行位线在所述第二接触区域中的突出端上，使所述第一接触垫与所述奇数行位线相导接，所述第二接触垫与所述偶数行位线相导接。