[实用新型]一种ITO基片

说明书

本实用新型公开了一种ITO基片，属于导电薄膜技术领域。本实用新型的ITO基片包括依次设置的基板、ITO电极层和离型膜，所述ITO电极层和所述离型膜之间还设置有电荷转移抑制层。电荷转移抑制层抑制了ITO电极层表面与离型膜之间的电荷转移，避免了因电荷转移造成的器件性能下降的问题，同时，在离型膜剥离后，电荷转移抑制层还可作为有机光电器件的空穴注入层，同一膜层结构能够实现不同功能，节约了器件制作成本。本实用新型可广泛应用于各类有机光电器件的制造中。

技术领域

本实用新型涉及导电薄膜技术领域，尤其涉及一种ITO基片。

背景技术

在液晶显示器、电致发光显示器、等离子体显示器、电致变色显示器、太阳能电池、触摸面板、电子纸等中，一般使用透明电极。例如，在有机电致发光器件中，由对置的两层电极及在电极之间设置有机功能层构成，有机功能层中的发光层中产生的光透过电极而被取出到外部。因此，两层电极中的至少一层为透明电极。

作为透明电极，一般使用有氧化铟锡(ITO)等的氧化物半导体系的材料，就由ITO等构成的透明电极而言，在沉积有机功能层之前，需要经过清洗步骤，增加了整体器件工艺的复杂度，因此，为了简化工序，现有的免清洗的ITO玻璃上会覆盖一层离型膜，使用之前将离型膜剥离，即用即撕，方便高效，但是这种免清洗的ITO玻璃，表面高功函的ITO电极层与离型膜表面的基团之间会发生电荷转移，造成 ITO玻璃的性能降低，进而导致整个器件的性能的下降。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中的上述问题，提供一种可以防止 ITO电极层电荷转移的ITO基片。

本实用新型公开了一种ITO基片，包括依次设置的ITO电极层和离型膜，所述ITO电极层和所述离型膜之间还设置有电荷转移抑制层。

进一步地，所述ITO电极层为图案化的。

进一步地，所述ITO电极层包括第一功能区和第二功能区，所述第一功能区与有机光电器件的发光区对应，所述第二功能区与有机光电器件的非发光区对应，所述电荷转移抑制层设置于第一功能区，所述第二功能区的ITO 电极层与离型膜直接接触。

进一步地，所述电荷转移抑制层设置在所述ITO电极层上，将所述离型膜剥离后，所述电荷转移抑制层保留在ITO电极层上，可以直接作为有机光电器件的有机功能层，同一膜层结构在不同制程中实现不同功能，节约了器件制作成本。

进一步地，所述电荷转移抑制层设置在离型膜上，剥离所述离型膜时，所述电荷转移抑制层随所述离型膜一同剥离。

更进一步地，所述电荷转移抑制层与离型膜之间还设置有粘结层，有利于将电荷转移抑制层剥离。

进一步地，所述基板上还设置有对位标记，在基片制作过程中，由于第一功能区与第二功能区的不同设计，需要使用掩模板，在基板上设置对位标记用于实现掩模板与基片的精准对位。

更进一步地，所述对位标记与基板组合形成的图案，当基板翻转后，在平面内，将基板沿任意方向平移或旋转任意角度，对位标记与基板组合形成的图案均不能与翻转前重合，以便于分辨基片的基板侧和ITO电极侧。

优选地，所述对位标记的数量为一，且与基板组合形成的图形为非轴对称图形。

优选地，所述对位标记为的数量为两个以上，且所有对位标记与基板组合形成的图案为非轴对称图案。

有益效果：

本实用新型的ITO基片通过在ITO电极层和离型膜之间设置电荷转移抑制层，抑制了ITO电极层表面与离型膜之间的电荷转移，避免了因电荷转移造成的器件性能下降的问题，同时，在离型膜剥离后，电荷转移抑制层还可作为有机光电器件的空穴注入层，同一膜层结构能够实现不同功能，节约了器件制作成本。

附图说明