[实用新型]石墨烯制造装置

说明书

一种石墨烯制造装置，包含反应腔机构、安装于所述反应腔机构的模具机构、包覆设置于所述模具机构且位于所述反应腔机构内的基体膜，及连结于所述模具机构的驱动机构。所述驱动机构能于化学气相沉积石墨烯过程中传动所述模具机构带动所述基体膜相对所述反应腔机构旋转，使反应沉积于所述基体膜的石墨烯构成立体石墨烯结构体。通过于化学气相沉积石墨烯的过程中，相对所述反应腔机构旋转所述基体膜的方式，能使沉积于所述基体膜的石墨烯构成一体成型结构的立体石墨烯结构体，是一种非常创新的石墨烯制造装置。

技术领域

本实用新型涉及一种石墨烯制造装置，特别是涉及一种制造立体几何外形的石墨烯结构体的制造装置。

背景技术

由于石墨烯具有极大的机械强度、弹性、气体不渗透性、高透明度与热传导率等优异机械性质，近年来已成为备受瞩目的新兴科技材料，已有许多研究单位投入大量资金、人力研究探讨其可能的应用，且目前石墨烯的制造已经发展至可卷对卷大面积生产制造的量产阶段，势必会对目前许多科技产业产生革命性的影响。

目前制造石墨烯的最佳方法是采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)，通过将碳源裂解而于基体上沉积反应，以大面积生成高质量的石墨烯。但是目前的制造方法所制得的石墨烯都是二维片状结构体，由于石墨烯具有极佳的机械强度与弹性，且片状石墨烯相当薄，所以后续不易将其加工成管状结构体，以致于目前的石墨烯都只限于片状结构的应用。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能改善现有技术的至少一个缺点的石墨烯制造装置。

本实用新型石墨烯制造装置，适用于通过化学气相沉积制造立体石墨烯结构体。所述石墨烯制造装置包含内部界定出能供进行石墨烯的化学气相沉积的反应空间的反应腔机构、安装于所述反应腔机构的模具机构、能供沉积反应生成石墨烯地包覆设置于所述模具本体外表面而具有特定立体几何外形的基体膜，及连结于所述模具机构的驱动机构。所述模具机构包括能相对所述反应腔机构转动地设置于所述反应空间内的模具本体，所述驱动机构能于化学气相沉积石墨烯过程中传动所述模具本体带动所述基体膜相对所述反应腔机构旋转，使反应沉积于所述基体膜的石墨烯构成所述立体石墨烯结构体。

本实用新型所述的石墨烯制造装置，所述反应腔机构包括具有朝外的出入口的腔本体，及能拆离地盖封所述出入口的盖体，且所述腔本体与所述盖体相配合界定出所述反应空间，所述模具机构是能被所述驱动机构驱转地枢设于所述盖体，并能被所述盖体连动移离所述腔本体。

本实用新型所述的石墨烯制造装置，所述模具机构还具有固接于所述模具本体并往外水平延伸贯穿枢设于所述盖体，且与所述驱动机构连结的轴杆，所述石墨烯制造装置还包含安装于所述盖体中且能散除所述轴杆穿经所述盖体的区段的热能以进行降温的散热机构。

本实用新型所述的石墨烯制造装置，所述基体膜具有至少一个径向贯穿的通孔。

本实用新型所述的石墨烯制造装置，所述基体膜是被覆固定于所述模具本体外表面。

本实用新型所述的石墨烯制造装置，所述基体膜是能脱离地套设于所述模具本体外。

本实用新型所述的石墨烯制造装置，所述基体膜为断面外形呈圆形、椭圆形或多边形的环管状。

本实用新型的功效在于：通过所述模具机构与基体膜结构设计，能于化学气相沉积石墨烯的过程中，通过相对所述反应腔机构旋转所述模具机构的方式，使沉积于所述基体膜的石墨烯构成一体成型结构的立体石墨烯结构体，是一种非常创新的石墨烯制造装置。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是本实用新型石墨烯制造装置的一个实施例的侧剖示意图；