[实用新型]石墨烯制造装置有效
申请号: | 201820471268.7 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN208394795U | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 黄国彰 | 申请(专利权)人: | 黄国彰 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 史瞳;谢琼慧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨烯 反应腔 基体膜 模具机构 制造装置 化学气相沉积 驱动机构 结构体 一体成型结构 反应沉积 包覆 传动 沉积 连结 | ||
1.一种石墨烯制造装置,适用于通过化学气相沉积制造立体石墨烯结构体,所述石墨烯制造装置包含内部界定出能供进行石墨烯的化学气相沉积的反应空间的反应腔机构,其特征在于:所述石墨烯制造装置还包含模具机构、基体膜,及连结于所述模具机构的驱动机构,所述模具机构是安装于所述反应腔机构,包括能相对所述反应腔机构转动地设置于所述反应空间内的模具本体,所述基体膜是能供沉积反应生成石墨烯地包覆设置于所述模具本体外表面,而具有特定立体几何外形,所述驱动机构能于化学气相沉积石墨烯过程中传动所述模具本体带动所述基体膜相对所述反应腔机构旋转,使反应沉积于所述基体膜的石墨烯构成所述立体石墨烯结构体。
2.根据权利要求1所述的石墨烯制造装置,其特征在于:所述反应腔机构包括具有朝外的出入口的腔本体,及能拆离地盖封所述出入口的盖体,且所述腔本体与所述盖体相配合界定出所述反应空间,所述模具机构是能被该驱动机构驱转地枢设于所述盖体,并能被所述盖体连动移离所述腔本体。
3.根据权利要求2所述的石墨烯制造装置,其特征在于:所述模具机构还具有固接于所述模具本体并往外水平延伸贯穿枢设于所述盖体,且与所述驱动机构连结的轴杆,所述石墨烯制造装置还包含安装于所述盖体中且能散除所述轴杆穿经所述盖体的区段的热能以进行降温的散热机构。
4.根据权利要求1所述的石墨烯制造装置,其特征在于:所述基体膜具有至少一个径向贯穿的通孔。
5.根据权利要求1所述的石墨烯制造装置,其特征在于:所述基体膜是被覆固定于所述模具本体外表面。
6.根据权利要求1所述的石墨烯制造装置,其特征在于:所述基体膜是能脱离地套设于所述模具本体外。
7.根据权利要求1所述的石墨烯制造装置,其特征在于:所述基体膜为断面外形呈圆形、椭圆形或多边形的环管状。
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