[实用新型]一种晶圆处理预对准平台

权利要求书

1.一种晶圆处理预对准平台，包括固定支架(1)、承片台(2)、真空破坏电磁阀(9)、气管接头(31)、光学单元连接座(32)、数显气压表(33)、直线运动模块、旋转吸附模块、光学模块和承接吸附模块，其特征在于：所述固定支架(1)顶部设置有腰形孔，承片台(2)设置在腰形孔顶部；所述承接吸附模块固定在固定支架(1)顶部；所述直线运动模块设置在固定支架(1)底部；所述旋转吸附模块设置在直线运动模块顶部；所述光学单元连接座(32)设置在固定支架(1)内部右侧；所述光学模块设置在光学单元连接座(32)上；所述气管接头(31)和数显气压表(33)设置在固定支架(1)侧面；所述真空破坏电磁阀(9)设置在固定支架(1)内部。

2.根据权利要求1所述一种晶圆处理预对准平台，其特征在于：所述直线运动模块由Y向移动子模块和Z向移动子模块组成；所述Y向移动子模块由Y向伺服电机(3)、Y向伺服电机用编码器(5)、Z向移动结构底板(18)、Y向运动用导轨(19)、Y向运动用丝杠组件(20)、Y向移动结构挡板(21)、Y向移动结构底板(23)、Y向运动用丝杠螺母座(24)、Y向运动用丝杠支撑座连接件(26)、Y向移动结构联轴器(27)、Y向移动结构电机连接法兰(30)、Y向移动结构光电限位开关(36)和Y向移动结构光电限位开关挡光板(37)组成；所述Y向伺服电机(3)设置在固定支架(1)内部右侧，Y向伺服电机(3)右侧连接有Y向伺服电机用编码器(5)；所述Y向移动结构底板(23)固定连接于固定支架(1)内腔底部左侧，Y向移动结构底板(23)内部右侧设置有Y向运动用丝杠支撑座连接件(26)，Y向移动结构底板(23)顶部前后两端设置有Y向运动用导轨(19)，Y向移动结构底板(23)内部左端设置有Y向移动结构挡板(21)，Y向移动结构底板(23)右端面设置有Y向移动结构电机连接法兰(30)，Y向移动结构底板(23)内部左右两侧设置有Y向移动结构光电限位开关(36)；所述Y向伺服电机(3)输出端穿过Y向移动结构电机连接法兰(30)依次连接有Y向移动结构联轴器(27)和Y向运动用丝杠组件(20)，Y向运动用丝杠组件(20)与Y向运动用丝杠支撑座连接件(26)中心转动连接；所述Y向运动用丝杠组件(20)上设置有Y向运动用丝杠螺母座(24)，Y向运动用丝杠螺母座(24)顶部固定连接有Z向移动结构底板(18)；所述Z向移动结构底板(18)底部左右两侧设置有Y向移动结构光电限位开关挡光板(37)。