[实用新型]掩膜板有效
申请号: | 201820440125.X | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN208346243U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 刘明星;王徐亮;甘帅燕;高峰 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 孟潭 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩模板 外框 网面 掩膜 固定条 支撑条 掩模 本实用新型 固定掩膜 有效缓解 下垂量 掩膜板 承载 | ||
本实用新型实施例提供了一种掩膜板,该掩模板包括外框和设置于外框上的掩膜网面,以及进一步包括固定掩膜网面至外框的固定条和承载掩膜网面的支撑条。本实用新型实施例提供的掩模板通过在掩模板的掩模网面和外框之间设置固定条和支撑条的方式,有效缓解了掩模板的掩模网面下垂量过大的情况,进而有效提高了掩模板的掩膜精度。
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜板。
背景技术
在现有显示装置的玻璃基板蒸镀过程中,由于大尺寸掩膜板(比如G6代线的掩膜板)的开口尺寸较大,相邻开口间的过渡区尺寸较小,因此掩膜板在张网过程中不能承受太大的张力。不能承受太大张力的掩膜板的下垂量管控就成为蒸镀过程中的主要难点,具体地,当掩膜板的下垂量过大时,会导致掩膜板的掩膜精度变差。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型实施例致力于提供一种掩膜板,以解决现有大尺寸掩膜板的下垂量难以管控的问题。
本实用新型一实施例提供一种掩膜板,该掩模板包括外框和设置于外框上的掩膜网面,以及进一步包括固定掩膜网面至外框的固定条和承载掩膜网面的支撑条。
在本实用新型一实施例中,支撑条设置于掩膜网面开口间的过渡区。
在本实用新型一实施例中,支撑条固定到外框。
在本实用新型一实施例中,支撑条的数量为多个,多个支撑条之间相互平行或交叉设置。
在本实用新型一实施例中,支撑条与外框之间借助固定条进行固定。
在本实用新型一实施例中,外框的内侧边缘与掩膜网面的外侧边缘存在交叠区,固定条设置于交叠区。
在本实用新型一实施例中,外框包括对称轴,固定条沿外框的一对称轴对称设置。
在本实用新型一实施例中,固定条为焊接条和/或扣合条。
在本实用新型一实施例中,固定条的数量大于支撑条与外框的交汇点数量。
在本实用新型一实施例中,掩膜板为通用金属掩膜板或精密金属掩膜板。
本实用新型实施例提供的掩模板通过在掩模板的掩模网面和外框之间设置固定条和支撑条的方式,有效缓解了掩模板的掩模网面下垂量过大的情况,进而有效提高了掩模板的掩膜精度。
附图说明
图1所示为本实用新型第一实施例提供的掩膜板的结构示意图。
图2所示为本实用新型第一实施例提供的掩膜板除去掩膜网面后的结构示意图。
图3所示为本实用新型第二实施例提供的掩膜板的结构示意图。
图4所示为本实用新型第三实施例提供的掩膜板的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
图1所示为本实用新型第一实施例提供的掩膜板的结构示意图。图2所示为本实用新型第一实施例提供的掩膜板除去掩膜网面后的结构示意图。如图1和图2所示,本实用新型第一实施例提供的掩膜板1包括外框11和层叠设置于外框11上的掩膜网面12,其中,外框11为环状矩形框架结构,掩膜网面12为矩形网面,外框11的内侧边缘与掩膜网面12的外侧边缘之间包括交叠区。
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