[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201820440125.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208346243U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;王徐亮;甘帅燕;高峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模板 外框 网面 掩膜 固定条 支撑条 掩模 本实用新型 固定掩膜 有效缓解 下垂量 掩膜板 承载 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜板，包括外框和设置于所述外框上的掩膜网面，其特征在于，进一步包括固定所述掩膜网面至所述外框的固定条和承载所述掩膜网面的支撑条。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条设置于所述掩膜网面开口间的过渡区。
3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条固定到所述外框。
4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条的数量为多个，多个所述支撑条之间相互平行或交叉设置。
5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条与所述外框之间借助所述固定条进行固定。
6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述外框的内侧边缘与所述掩膜网面的外侧边缘存在交叠区，所述固定条设置于所述交叠区。
7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述外框包括对称轴，所述固定条沿所述外框的一对称轴对称设置。
8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定条为焊接条和/或扣合条。
9.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定条的数量大于所述支撑条与所述外框的交汇点数量。
10.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板为通用金属掩膜板或精密金属掩膜板。
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