[实用新型]一种固定式半导体电阻率测试装置

说明书

本实用新型提供一种固定式半导体电阻率测试装置，包括：操作台，操作台顶部设有操作台面，操作台底部设有支腿；操作台内部设有PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜以及第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜；操作台的侧部设有电源线通孔；在对流水作业，或者大量生产的状态，可以将操作台设置在生产现场或者便于测试的位置，显示器，半导体电阻率测试仪均安置到操作台面上，这样便于对半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行测试。操作台面上还可以设置放置半导体材料，或半导体材料的延伸产品的位置，这样可以将测试前和测试后的产品依次排列放置。这给测试带来便捷，提升测试效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体电阻率测试领域，尤其涉及一种固定式半导体电阻率测试装置。

背景技术

随着科技的创新，半导体材料以及半导体材料的延伸产品得到长足的发展，，半导体材料以及半导体材料的延伸产品不断出现性能更高的产品。当然半导体材料以及半导体材料的延伸产品的发展，也使得对半导体材料以及半导体材料的延伸产品的质量和工艺提出了更高的要求，对半导体材料以及半导体材料的延伸产品的电阻率检测是不可或缺的关键步骤。

通常电子器件在生产制造过程中，均是流水作业，或者大量生产的。在对半导体材料进行检测时通常也需要一定的空间和环境。目前，专利号申请号为：201710084825X，公开了一种便携式半导体非接触电阻率测试仪及使用方法，该测试仪虽然方便携带，但是在每次使用中需要找到一个良好的固定位置，不仅要固定仪器，还要固定待测试的半导体材料，或半导体材料的延伸产品，才能进行检测，这给测试带来不便，而且这样无法满足流水作业，或者大量生产的状态。

便携式半导体非接触电阻率测试公开的内容中对信号的处理中，正弦信号发生器发送的信号分别发出方波信号和正弦波信号，在经过后续元件处理后对半导体进行电阻率测试，这种测试过程，容易增加发生信号的失真度，影响测量准确度。

发明内容

为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种固定式半导体电阻率测试装置，包括：操作台，操作台顶部设有操作台面，操作台底部设有支腿；

操作台内部设有PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜以及第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜；操作台的侧部设有电源线通孔；

PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜，第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜均设有柜门；

操作台面安置有显示器以及用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪；PC机安置柜内部安置有PC主机，PC主机与显示器连接；

半导体电阻率测试仪包括：壳体，壳体内部设有测试组件，壳体表面设有显示模块，测试控制开关，探测针插置孔组以及参数调节开关；

测试组件包括：信号发生器，第一运算放大器，第二运算放大器，第三运算放大器，第一二极管消波电路，第二二极管消波电路，恒流源电路，第一乘法器，第二乘法器，AD转换模块以及单片机；

测试控制开关的输出端，信号发生器的输入端，AD转换模块的输出端，显示模块输入端以及参数调节开关的输出端分别与单片机连接；

信号发生器的输出端分别与第一运算放大器的输入端，第二运算放大器的输入端以及第三运算放大器的输入端连接；

第一运算放大器的输出端与第一二极管消波电路的输入端连接，第一二极管消波电路的输出端与第一乘法器的第一输入端连接，第一乘法器的输出端与AD转换模块第一输入端连接；

第二运算放大器的输出端与恒流源电路输入端连接，恒流源电路输出端与探测针插置孔组连接，探测针插置孔组输出端分别与第一乘法器的第二输入端和第二乘法器的第二输入端连接；第三运算放大器的输出端与第二二极管消波电路的输入端连接，第二二极管消波电路的输出端与第二乘法器的第一输入端连接，第二乘法器的输出端与AD转换模块第二输入端连接。