[实用新型]一种固定式半导体电阻率测试装置

权利要求书

1.一种固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，包括：操作台(1)，操作台(1)顶部设有操作台面(2)，操作台(1)底部设有支腿(3)；

操作台(1)内部设有PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)以及第一半导体材料安置柜(6)，第二半导体材料安置柜(7)；操作台(1)的侧部设有电源线通孔(8)；

PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)，第一半导体材料安置柜(6)以及第二半导体材料安置柜(7)均设有柜门；

操作台面(2)安置有显示器(31)以及用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪(32)；PC机安置柜(4)内部安置有PC主机，PC主机与显示器(31)连接；

半导体电阻率测试仪(32)包括：壳体(43)，壳体(43)内部设有测试组件，壳体表面设有显示模块(16)，测试控制开关(42)，探测针插置孔组(41)以及参数调节开关(45)；

测试组件包括：信号发生器(21)，第一运算放大器(22)，第二运算放大器(23)，第三运算放大器(24)，第一二极管消波电路(25)，第二二极管消波电路(27)，恒流源电路(26)，第一乘法器(12)，第二乘法器(13)，AD转换模块(14)以及单片机(15)；

测试控制开关(42)的输出端，信号发生器(21)的输入端，AD转换模块(14)的输出端，显示模块(16)输入端以及参数调节开关(45)的输出端分别与单片机(15)连接；

信号发生器(21)的输出端分别与第一运算放大器(22)的输入端，第二运算放大器(23)的输入端以及第三运算放大器(24)的输入端连接；

第一运算放大器(22)的输出端与第一二极管消波电路(25)的输入端连接，第一二极管消波电路(25)的输出端与第一乘法器(12)的第一输入端连接，第一乘法器(12)的输出端与AD转换模块(14)第一输入端连接；

第二运算放大器(23)的输出端与恒流源电路(26)输入端连接，恒流源电路(26)输出端与探测针插置孔组(41)连接，探测针插置孔组(41)输出端分别与第一乘法器(12)的第二输入端和第二乘法器(13)的第二输入端连接；第三运算放大器(24)的输出端与第二二极管消波电路(27)的输入端连接，第二二极管消波电路(27)的输出端与第二乘法器(13)的第一输入端连接，第二乘法器(13)的输出端与AD转换模块(14)第二输入端连接。

2.根据权利要求1所述的固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，

第一半导体材料安置柜(6)内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝；

第一半导体材料安置柜(6)的门框设有第一方形凸沿(64)，第一方形凸沿(64)向第一半导体材料安置柜(6)外部凸出，第一半导体材料安置柜的柜门设有第一门板(61)，第一门板(61)的边部设有与第一方形凸沿(64)相适配的第一方形凹沿(62)；第一方形凹沿(62)卡合在第一方形凸沿(64)上；第一门板(61)上设有两个把手(63)。

3.根据权利要求1所述的固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，

PC机安置柜(4)内部安置有PC主机，PC主机与显示器(31)连接；

半导体电阻率测试仪安置柜(5)的底部铺设有防震垫。

4.根据权利要求1所述的固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，单片机(15)采用AT89S52单片机，或采用STM32单片机；

AD转换模块(14)采用AD7705AD转换器；

第一乘法器(12)和第二乘法器(13)均采用MC1496；

信号发生器(21)采用型号GFG-8210，参数：频率范围：0.1Hz～10MHz；波形：正弦波,三角波,方波,Ramp,TTL和CMOS输出；二段式固定衰减器(-20dBx2)以及可调式衰减器；内建6位数高解析度计数器,可测频率范围达150MHz；

或信号发生器(21)采用型号81180A，参数：双通道，4.2GHz采样率，12bit合成精度；负载为50欧姆时，输出电压峰峰值2V；根据内存数据合成任意波形；基本函数发生功能；相位，延迟可调。