[实用新型]一种多功能测试仪

说明书

本实用新型提供一种多功能测试仪，用于测量半导体电阻率的半导体电阻率测试单元，用于测量电容容量的电容量测量单元，用于测量电阻阻值的电阻测量单元，74LS138译码器，74LS245八路总线收发器，74LS259地址锁存器，单片机，MAX232芯片，RS232通信接口，RS485通信接口，I/O接口以及显示屏；实现了半导体电阻率测试，电容量测量以及电阻阻值测量的多个功能，不局限于对半导体电阻率的测试。而且还可以通过RS232通信接口或RS485通信接口连接PC机，将测试数据传输至PC机进行储存和观测。

技术领域

本实用新型涉及测试领域，尤其涉及一种多功能测试仪。

背景技术

当前半导体和集成电路制造技术飞速发展，许多新半导体以及集成电路研制出来，而半导体以及集成电路的中涉及电阻的阻值，电容的容量以及半导体电阻率需要基于集成电路的综合测试，因而需要多功能的测量仪器来进行测量。

目前有些装置可以完成基于电阻率的测试，如便携式半导体非接触电阻率测试仪及使用方法，可以起到对导体电阻率的测试，但是如果在针对集成电路的中涉及电阻的阻值和电容的容量进行测试需要其他设备来配合，这样对测试过程带来不便。

发明内容

为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种多功能测试仪，包括：用于测量半导体电阻率的半导体电阻率测试单元，用于测量电容容量的电容量测量单元，用于测量电阻阻值的电阻测量单元，74LS138译码器， 74LS245八路总线收发器，74LS259地址锁存器，单片机，MAX232芯片， RS232通信接口，RS485通信接口，I/O接口以及显示屏；

显示屏，74LS138译码器，74LS245八路总线收发器，74LS259地址锁存器，半导体电阻率测试单元，电容量测量单元，电阻测量单元，I/O接口以及 MAX232芯片分别与单片机连接；

单片机通过半导体电阻率测试单元获取待测元件的电阻率，单片机通过电容量测量单元获取待测元件的电容量，单片机通过电阻测量单元获取待测元件的电阻阻值；

RS232通信接口，RS485通信接口分别与MAX232芯片连接。

优选地，单片机包括：采用AT89s51单片机，电容C1，电容C2，电容C3，电容C4，电容C5，电容C6，电阻R1；

AT89s51单片机的XTAL1脚，RST脚，电容C5第一端，晶振C6第一端，电容C3第一端，电阻R1第二端共同连接，电容C5第二端接+5v电源，电阻R1第一端，电容C3第二端，电容C4第一端分别接地，电容C4第二端，晶振C6第二端分别XTAL2脚；AT89s51单片机的P3.0脚与MAX232芯片的 TXD1脚连接，AT89s51单片机的P3.1脚与MAX232芯片的RXD1脚连接， MAX232芯片的TXD2脚连接RS485通信接口的RXD脚，MAX232芯片的 RXD2脚连接RS485通信接口的TXD脚，MAX232芯片的C1+脚和C1-脚对应连接电容C1的两端；MAX232芯片的C2+脚和C2-脚对应连接电容C2的两端。

优选地，单片机通过74LS373芯片连接显示屏。

优选地，电阻测量单元采用TCA965芯片及外围电路对待测量电阻进行阻值测量。

优选地，电容量测量单元采用ST555定时芯片及外围电路对待测电容量进行测量。

优选地，半导体电阻率测试单元包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头以及AD转换模块；

单片机与信号发生器输入端连接，单片机与AD转换模块输出端连接；

信号发生器的输出端分别与第一低通滤波电路输入端，第二低通滤波电路输入端和第三低通滤波电路输入端连接；