[实用新型]一种柔性衬底的吸盘装置

说明书

本实用新型公开了一种柔性衬底的吸盘装置，包括支撑体和吸附板面；所述吸附板面位于支撑体的上表面，吸附板面上设置有以呈通孔的吸附微孔均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔的孔径小于2mm。本实用新型通过减小孔径、且以均匀排布形成的微孔阵列作为吸附板面，有效实现了均匀吸附和高度平整，从而有利于实现柔性器件的均匀镀膜、精确加工和装配。

技术领域

本实用新型涉及柔性器件生产技术领域，尤其涉及一种用于展平固定柔性衬底的吸盘装置。

背景技术

随着科学技术的发展，柔性器件在生产生活中日益重要，比如柔性显示屏、柔性太阳能电池等。在柔性器件的生产及研发过程中，需要将单张柔性衬底展平和固定，以便进行表面印刷、涂布、镀膜、装配等加工。其中，旋涂镀膜是广泛使用的镀膜方式，旋涂过程中需要保持基底高度平整才能实现均匀镀膜。目前，现有技术大多使用的是真空吸附台，如图1所示，通过吸附将柔性衬底1展平和固定，但其吸附孔2的孔径大都在2mm以上，容易造成柔性衬底1表面变形下凹，从而造成表面不平整，难以实现表面均匀镀膜及精确加工和装配。此外，由于吸附孔与放置衬底的凹槽同一中心，外围边沿处往往气密性不好，容易导致衬底四周翘起，从而难以实现精确加工。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种柔性衬底的吸盘装置，以孔径小于2mm的吸附微孔，通过均匀排布形成的微孔阵列作为吸附板面，实现均匀吸附和高度平整。

本实用新型的目的通过以下技术方案予以实现：

本实用新型提供的一种柔性衬底的吸盘装置，包括支撑体和吸附板面；所述吸附板面位于支撑体的上表面，吸附板面上设置有以呈通孔的吸附微孔均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔的孔径小于2mm。

本实用新型吸附板面可以是方形、圆形、或其他多边形等，微孔阵列可以是圆形、矩形或者六角形等。

上述方案中，本实用新型所述吸附板面与支撑体呈一体式，支撑体的上表面即为吸附板面。或者，所述吸附板面与支撑体呈分体式；所述支撑体上设有安装槽，所述吸附板面嵌设在安装槽内，且与支撑体呈间隔设置而形成真空腔；所述真空腔内、吸附板面与支撑体之间均布有一个或一个以上呈环状的支撑凸起；所述支撑凸起上设有缺口；所述支撑体上设置有将真空腔与真空泵连接的通孔。

当吸附板面较大时，可以根据需要设置多个支撑凸起，以保证吸附板面不变形。支撑凸起上的缺口可以是断口、凹口等连通口，以保证安装槽的真空腔内压力一致。例如，当吸附板面为大面积时，本实用新型所述支撑凸起为六边形环状，且拼接形成蜂窝网格状结构。

本实用新型具有以下有益效果：

(1)本实用新型通过缩小吸附孔的孔径，可减少柔性衬底表面的变形量，实验表明当孔径小于2mm时，柔性衬底的变形量可以忽略不计；同时，这些孔径小于 2mm的通孔均匀排布形成微孔阵列，且均连通到真空腔，不仅能很好地提供足够的吸力，而且具有同样的吸力，不会引起周围翘起，既保证了柔性衬底的展平及固定，同时又避免了柔性衬底的变形。

(2)本实用新型采用分体式时，支撑凸起能够很好地支撑吸附板面，当吸附板面的面积较大时，能够保证其位置准确、且不变形；同时，也保证了外侧有足够的真空度而足以吸住柔性衬底。

(3)本实用新型有效实现了均匀吸附和高度平整，尤其适合于旋涂机的使用。

附图说明

下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步的详细描述：

图1是现有技术真空吸附台的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一的示意图(图2a是结构示意图，图2b是图2a的俯视图)；

图3是本实用新型实施例二的示意图(图3a是结构示意图，图3b是图3a的俯视图)；