[实用新型]一种柔性衬底的吸盘装置有效
| 申请号： | 201820426436.0 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208245101U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 邱任拯 | 申请（专利权）人： | 邱任拯 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;F16B47/00 |
| 代理公司： | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人： | 李玉峰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附板 本实用新型 均匀排布 微孔阵列 吸盘装置 支撑体 衬底 微孔 吸附 均匀镀膜 均匀吸附 柔性器件 有效实现 上表面 减小 通孔 装配 平整 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：包括支撑体(3)和吸附板面(4)；所述吸附板面(4)位于支撑体(3)的上表面，吸附板面(4)上设置有以呈通孔的吸附微孔(4a)均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔(4a)的孔径小于2mm。
2.根据权利要求1所述的柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：所述吸附板面(4)与支撑体(3)呈一体式。
3.根据权利要求1所述的柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：所述吸附板面(4)与支撑体(3)呈分体式；所述支撑体(3)上设有安装槽(3a)，所述吸附板面(4)嵌设在安装槽(3a)内，且与支撑体(3)呈间隔设置而形成真空腔(5)；所述真空腔(5)内、吸附板面(4)与支撑体(3)之间均布有一个或一个以上呈环状的支撑凸起(3c)；所述支撑凸起(3c)上设有缺口；所述支撑体(3)上设置有将真空腔(5)与真空泵连接的通孔(3b)。
4.根据权利要求3所述的柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：所述支撑凸起(3c)为六边形环状，且拼接形成蜂窝网格状结构。
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